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            精密氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)的主要應(yīng)用

            來(lái)源:南京譜量光電科技有限公司   2023年11月11日 16:32  

            精密氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)能夠滿(mǎn)足精密負(fù)載對(duì)振動(dòng)隔離需求,上面板采用優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁SUS430不銹鋼,臺(tái)面內(nèi)核為三層夾心式蜂窩結(jié)構(gòu),內(nèi)核密度大幅度提高,具有優(yōu)秀的硬重比和剛性,同時(shí)保證了較低的固有頻率,具備行業(yè)較高的隔振效果。上臺(tái)面采用精密磨削工藝,平面度可達(dá)≤0.05mm/㎡,表面粗糙度<0.6um,回旋打磨工藝清除毛邊,達(dá)到無(wú)反射、啞光效果,面板具有M6陣列螺孔,易于固定光學(xué)元件。氣浮支架采用整體焊接工藝(四支撐或六支撐結(jié)構(gòu)),半膜片式空氣彈簧,采用進(jìn)口三水平調(diào)節(jié)閥技術(shù),反應(yīng)靈敏,響應(yīng)迅速,在超載偏重的實(shí)驗(yàn)條件下,能瞬間恢復(fù)初始的平衡狀態(tài)。支撐腿內(nèi)部為二級(jí)氣室結(jié)構(gòu),氣室間帶有阻尼孔,氣動(dòng)元件全部采用德國(guó)FESTO產(chǎn)品,標(biāo)配優(yōu)質(zhì)大功率壓縮機(jī),整體結(jié)構(gòu)保證平臺(tái)有較高的穩(wěn)定性。

            應(yīng)用:
            顯微鏡系統(tǒng)、激光測(cè)試、光學(xué)制造、光電儀器研發(fā)與測(cè)試、生物醫(yī)療、精密機(jī)械制造、精密化工和無(wú)損檢測(cè)、集成電子電路、拉曼光譜實(shí)驗(yàn)、精密檢測(cè)校準(zhǔn)、對(duì)振動(dòng)要求高的儀器設(shè)備。
            中心為蜂窩/井字鋼支撐結(jié)構(gòu),底板為碳鋼,在保證隔振性能得同時(shí),提高了剛性、穩(wěn)定性,臺(tái)面精磨;
            氣浮支架采用囊式空氣彈簧,每個(gè)支撐腿配備由單獨(dú)氣室;
            采用整體焊接四支撐結(jié)構(gòu),下方為阻尼隔振墊,隔振性能好;
            氣浮支架底部帶有高度調(diào)節(jié)功能,可以解決地面不平引起的支架扭曲、變形等情況;
            采用原裝德國(guó)FESTO空氣伺服系統(tǒng), 自動(dòng)調(diào)整水平;瞬間達(dá)到初始的平衡狀態(tài),提高光學(xué)隔振平臺(tái)的隔振效果。


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