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高壓汞規(guī)格
全自動(dòng)UV照射機(jī)
FHUV-系列
“緊湊型”和“高輸出”高壓汞燈規(guī)格
概述
高壓汞/金鹵燈全自動(dòng)UV照射設(shè)備是一種使用具有強(qiáng)輻射能的燈管的紫外線固化設(shè)備。
裝入工件后，按下啟動(dòng)按鈕，機(jī)器將全自動(dòng)將工件從料庫(kù)中取出，并用紫外燈照射，并存儲(chǔ)，直到料庫(kù)中的工件全部完成。
根據(jù)目標(biāo)工作，您可以選擇高壓汞燈和金屬鹵化物燈。
特征
緊湊的機(jī)身
可以進(jìn)行 10 種配方設(shè)置（速度根據(jù)設(shè)置而變化）
可使用觸摸面板以 4 種方式設(shè)置功率
顯示累積照射量和紫外線照射強(qiáng)度（僅照射期間）
可根據(jù)照射對(duì)象選擇高壓汞燈/金屬鹵化物燈
配備自動(dòng)設(shè)置變更功能，可自動(dòng)切換至不同尺寸
不僅可以照射切割框，還可以照射握持環(huán)。
具備判斷UV照射是否完成的功能。
目的
可用于LSI晶圓、存儲(chǔ)器晶圓、LED晶圓、激光晶圓、傳感器晶圓、功率器件晶圓等各種工藝。
規(guī)格
 |
| 尺寸 | 寬1300×深1400×高1350（毫米） | |
|---|---|---|
| 重量 | 約400公斤 | |
| 駕駛空氣 | 0.4Mpa以上 | |
| 紫外線照度 | 200mW/cm2以上 | |
| 氮?dú)?/span> | 0.2Mpa以上 100L/min以上 | |
| 電源 | 交流三相200V 50/60Hz 100A | |
*尺寸適用于 8 英寸類型。
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