黑光規(guī)格
全自動UV照射機
FBUV-系列
不同尺寸的工件可以使用轉盤進行均勻照射,并允許一次性轉換!
概述
黑光規(guī)格的全自動UV照射機是自動取出盒式供給的晶圓框、進行
UV照射、保管的裝置。切割后,紫外線照射會降低膠帶的粘合強度,使其更容易拾取。
兼容 8 英寸和 12 英寸晶圓框架,可自動更換設置。
特征
盒式裝置可實現(xiàn)全自動照射。
旋轉轉盤可實現(xiàn)均勻一致的紫外線照射。
多種UV照射條件(時間設定或累積光強度設定)
在觸摸屏上實時顯示紫外線照度。
由于黑光規(guī)格,功耗較低。
兼容8英寸/12英寸磁帶。(可以通過觸摸面板自動完成設置更改)
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