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三氟化氮檢測儀是一種用于監(jiān)測三氟化氮（NF3）氣體濃度的儀器，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、平板顯示器、光纖和光伏電池等行業(yè)。在這些行業(yè)中，三氟化氮通常作為等離子蝕刻氣體和反應(yīng)腔清洗劑使用。檢測儀能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測空氣中的三氟化氮濃度及泄漏狀況，確保工作環(huán)境的安全。
三氟化氮檢測儀設(shè)計(jì)特點(diǎn)：
1.工業(yè)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)：檢測儀是按照工業(yè)級(jí)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)研發(fā)生產(chǎn)的，這意味著它具備高可靠性和穩(wěn)定性，適合在各種工業(yè)環(huán)境中使用。
2.防爆設(shè)計(jì)：該檢測儀具有防爆特性，獲得了國家防爆電氣產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢測中心頒發(fā)的防爆合格證，確保在潛在爆炸性環(huán)境中的安全使用。
3.智能模塊化傳感器：采用智能模塊化傳感器設(shè)計(jì)，即插即用，自動(dòng)識(shí)別。這種設(shè)計(jì)允許通過更換不同的傳感器來檢測多種氣體，提高了儀器的靈活性和經(jīng)濟(jì)性。
4.內(nèi)置進(jìn)口傳感器：配備高精度的進(jìn)口傳感器，確保了檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
三氟化氮檢測儀功能：
1.在線監(jiān)測：能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測三氟化氮（NF3）氣體的濃度，及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在的危險(xiǎn)或泄漏情況。
2.報(bào)警功能：當(dāng)檢測到三氟化氮?dú)怏w超過預(yù)設(shè)的安全閾值時(shí)，儀器會(huì)發(fā)出報(bào)警，提醒操作人員采取相應(yīng)的安全措施。
3.多用途：適用于半導(dǎo)體芯片、平板顯示器、光纖、光伏電池等行業(yè)，在這些行業(yè)中，三氟化氮通常作為等離子蝕刻氣體和反應(yīng)腔清洗劑使用。
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