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顯微維氏硬度計主要由以下幾個部分組成：
主機：
測砧（壓頭）：主機的重要部件之一，通常由錐形鎢鋼頭和中心導向裝置組成。這個部分用于將特定形狀的壓頭（根據被測試件的不同可以選擇不同形狀的壓頭）施加到待測試件的表面上。
傳感器：用于感知并記錄壓頭在材料表面產生的壓痕信息。
計算機：內置計算器能夠自動計算硬度值并顯示在LCD屏上。計算機還控制整個測試過程，包括試驗力的施加、保荷時間的控制以及測量次數的記錄等。
顯微鏡：
是觀察試樣表面痕跡的關鍵部件，通常由鏡筒、目鏡、物鏡和調焦裝置組成。顯微鏡的放大倍數可以根據需要進行調整，以提供更清晰的壓痕成像。
外殼：
保護內部的儀器零件，通常由底座、柱體和距離調節(jié)手輪等部分組成。
控制系統(tǒng)：
包括薄膜鍵盤，用于輸入壓痕對角線長度等參數。LCD屏則用于顯示試驗方法、試驗力、試驗力保荷時間、測量次數等信息。
光源系統(tǒng)：
冷光源，使用壽命長達10萬小時。同時，也可以按用戶要求選用鹵素燈光源。
連接接口：
顯微維氏硬度計提供可供連接數碼相機和CCD攝像頭的螺紋接口，方便接入維氏硬度專用的測量軟件系統(tǒng)。
測量軟件系統(tǒng)：
可選配CCD圖象自動測量裝置和LCD視頻測量裝置，用于自動測量壓痕的大小并計算硬度值。
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