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半導體參數測試系統(tǒng)是一款配置靈活的半導體器件電學特性分析設備，在一個系統(tǒng)中實現(xiàn)了電流電壓 (IV) 測試、電容電壓 (CV) 測試、脈沖式IV測試、任意線性波形發(fā)生與測量、高速時域信號釆集以及低頻噪聲測試能力。幾乎所有半導體器件的低頻特性表征都可以在FS-Pro測試系統(tǒng)中完成。
產品應用：
新型材料與器件測試
半導體器件可靠性測試
半導體器件超短脈沖測試
半導體器件無損探傷與測試
光電器件和微電子機械系統(tǒng)測試
半導體器件超低頻噪聲領域測試
產品優(yōu)勢：
一體化設備：
單機可采集高精度IV、CV、脈沖IV和瞬態(tài)IV采樣及1/f噪聲測試所有參數。
無需切換電纜或探頭連接即可提供完整的低頻參數提取功能。
寬電壓電流輸出范圍、高精度：
支持高速采樣時域信號采集和任意線性波形生成模塊化架構。
支持靈活、可擴展的測試配置。
簡單易用：
內置專業(yè)LabExpress軟件，用戶界面友好。
測量、分析功能強大。
無需復雜編程步驟即可同步產生電壓并跟蹤波形。
可用作9812DX內部SMU模塊：
無縫集成9812D/DX系統(tǒng)及其NoiseProPlus軟件，可提高噪聲測試速度。
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