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光學輪廓儀是一種基于白光干涉原理而研發(fā)生產(chǎn)的高精度測量儀器，它廣泛應用于多個領(lǐng)域，以非接觸、無損的方式對精密器件表面進行納米級測量。其通過不同光學元件形成參考光路和檢測光路。光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后，被分光棱鏡分成兩束光：一束光經(jīng)被測表面反射回來，另一束光經(jīng)參考鏡反射。這兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，形成干涉條紋。顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
光學輪廓儀的應用范圍：
1、精密加工：在精密加工領(lǐng)域，用于測量零件表面的粗糙度、刻線深度、鍍層厚度等微觀結(jié)構(gòu)。例如，量塊、光學零件表面的粗糙度以及標尺、度盤的刻線深度等，這些精確測量對于保證精密零件的性能至關(guān)重要。
2、半導體制造：在半導體行業(yè)中，輪廓儀用于檢測硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測量，還能應用于半導體封裝工藝檢測。由于其非接觸式無損檢測的特點，可以高效地對超光滑或粗糙的表面進行納米級測量。
3、材料科學研究：材料科學中，輪廓儀用于分析材料的微觀結(jié)構(gòu)和形貌，如表面粗糙度、平面度、平行度等關(guān)鍵參數(shù)。這種測量指導生產(chǎn)過程，優(yōu)化產(chǎn)品性能。
4、生物化學研究：在生物學和化學研究中，輪廓儀可以用于高靈敏度的光熱效應弱吸收測量和總積分散射測量。這些測量幫助研究人員了解生物組織和化學樣品的微觀結(jié)構(gòu)。
5、微機械學研究：微機械學領(lǐng)域中，輪廓儀用于測量微小機械部件的三維結(jié)構(gòu)，如MEMS器件的表面形貌特征。這對于微型傳感器和執(zhí)行器的設(shè)計與制造非常重要。
6、3C產(chǎn)業(yè)鏈：在3C產(chǎn)業(yè)鏈中，光學輪廓儀被廣泛應用于玻璃屏、手機金屬殼模具瑕疵及油墨屏高度差的測量。這些高精度測量直接影響到電子產(chǎn)品的外觀和性能。
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