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氦質(zhì)譜檢漏儀淺析1---氦氣
氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium LeakDetector，HLD）是用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。
氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過(guò)漏孔并 易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，氦氣通常用作氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體。特點(diǎn)如下：
1. 由于空氣中的氦含量非常低，氦的背景值較低，這有利于發(fā)現(xiàn)極少量的氦：
2. 氦分子體積小，重量輕，易于擴(kuò)散，易于穿透泄漏，易于識(shí)別：
3. 氦離子具有低的電荷質(zhì)量比，并且易于進(jìn)行質(zhì)譜分析；
4. 氦是一種惰性氣體，具有穩(wěn)定的化學(xué)性能，不會(huì)腐蝕或損壞設(shè)備；
5. 氦是無(wú)毒的，而且極難保存在水中。
氦氣：空氣中的氦含量為0.0005%（百萬(wàn)分之五）。氦氣通常是無(wú)色無(wú)味的氣體；熔點(diǎn)-272.2°C（25 atm），沸點(diǎn)-268.9°C；密度0.1785g/L，臨界溫度-267.8℃，臨界壓力2.26大氣壓；水溶性為8.61cm3/kg水。
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