圖1.氯硅烷的結構式

在10 mL樣品瓶中加入7.5 mL正辛烷，用微量進樣器依次加入10 uL的甲基氯硅烷和10 uL的二氯乙烷，分別記錄加入樣品的質量（見表1），混勻后備用。

表1.各組分的質量

使用珀金埃爾默GCMS 2400™的氣相色譜-質譜聯(lián)用儀進行實驗，設備如圖2所示，測試條件如表2、表3所示。

圖2. 珀金埃爾默GCMS 2400™

表2.氣相色譜儀及質譜儀的操作條件

表3.各組分的質量

取0.2 uL甲基氯硅烷混合標準溶液注入氣相色譜-質譜儀進行測定，色譜圖如圖3所示，采用單點校準法。分別測出各甲基氯硅烷和1,2-二氯乙烷的峰面積，各甲基氯硅烷與內(nèi)標物1,2-二氯乙烷的相對靈敏度系數(shù)即為K值。

圖3.甲基氯硅烷的標準色譜圖(1.二甲基一氯硅烷 tR=10.25 min; 2.一甲基二氯硅烷tR=11.27 min; 3. 三甲基一氯硅烷tR=13.06 min; 4.二甲基二氯硅烷tR=15.02 min;5.一甲基三氯硅烷tR=15.17 min; 6.二氯乙烷(內(nèi)標)tR=16.79 min)（點擊查看大圖）

對表1中的標樣重復進樣6次，測定結果見表4。

表4.待測物質的峰面積重現(xiàn)性和檢出限

在空樣品瓶中加入5 mL正辛烷，稱其重量，再加入10 uL內(nèi)標（二氯乙烷）稱其重量，最后再加入2.5 mL氯硅烷樣品，稱其重量。將樣品混勻后，取0.2 uL注入氣相色譜-質譜儀進行測定，其色譜圖見圖4，然后根據(jù)公式計算各甲基氯硅烷的含量，數(shù)值以%表示，見表5。

圖4.實際樣品和標準樣品的對比(三氯氫硅=10.53min，四氯化硅=13.85min)（點擊查看大圖）

表5.不同樣品的測試結果

方案中四氯硅烷和三氯氫硅均能與甲基氯硅烷實現(xiàn)分離，因此該方案不僅能滿足四氯硅烷中甲基氯硅烷的分析檢測(YS/T 1300-2019)，同時能拓展為三氯氫硅中甲基氯硅烷的分析檢測(GB/T 28654-2018)，如圖5。

圖5.三氯氫硅中的甲基氯硅烷的色譜圖(1.二甲基一氯硅烷;2.三氯氫硅;3.一甲基二氯;4.三甲基一氯硅烷;5.二甲基二氯硅烷;6.一甲基三氯硅烷;7.2-氯丁烷;8.1,2二氯乙烷9.1-氯丁烷;10.乙烯基三氯硅烷)（點擊查看大圖）

四氯硅烷和三氯氫硅遇空氣易反應，原料中大量的四氯硅烷和三氯氫硅會降低色譜柱和GCMS的使用壽命，通過珀金埃爾默經(jīng)典的D-Swafer技術將它們從色譜柱中切割放空，避免對色譜柱和MS的污染，其原理圖見圖6。

圖6.D-Swafer中心切割流程圖（點擊查看大圖）