無(wú)線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)是一種半導(dǎo)體制造設(shè)備，它通過(guò)自主研發(fā)的核心技術(shù)將傳感器嵌入晶圓集成，從而實(shí)時(shí)監(jiān)控和記錄晶圓在制程過(guò)程中的溫度變化數(shù)據(jù)。該系統(tǒng)為半導(dǎo)體制造過(guò)程提供了一種高效可靠的方式來(lái)監(jiān)測(cè)和優(yōu)化關(guān)鍵的工藝參數(shù)。

無(wú)線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)的核心優(yōu)勢(shì)包括：

一、無(wú)線測(cè)溫采集

系統(tǒng)采用無(wú)線傳輸方式，實(shí)現(xiàn)測(cè)溫?cái)?shù)據(jù)的無(wú)損采集，避免了傳統(tǒng)有線測(cè)溫方式中因線路連接問(wèn)題導(dǎo)致的信號(hào)干擾和誤差。

二、實(shí)時(shí)測(cè)溫監(jiān)測(cè)

系統(tǒng)能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)晶圓表面的溫度變化，提供及時(shí)、準(zhǔn)確的溫度數(shù)據(jù)，有助于工藝人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)并處理制程中的異常情況。

三、高精度測(cè)量

系統(tǒng)采用高精度溫度傳感器，結(jié)合校準(zhǔn)補(bǔ)償技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)晶圓表面溫度的精確測(cè)量，滿足半導(dǎo)體制造過(guò)程中的高精度要求。

四、測(cè)溫?cái)?shù)據(jù)分析能力

系統(tǒng)配備有專業(yè)的溫度分析軟件，能夠?qū)Σ杉降臏囟葦?shù)據(jù)進(jìn)行存儲(chǔ)、分析和可視化處理，幫助工藝人員深入了解制程中的溫度分布情況，為工藝優(yōu)化提供有力支持。

五、支持過(guò)程調(diào)整與驗(yàn)證

系統(tǒng)支持對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程中的溫度參數(shù)進(jìn)行調(diào)整和驗(yàn)證，以確保制程的穩(wěn)定性和可控性，提高產(chǎn)品的質(zhì)量和良率。

六、全面熱分布區(qū)監(jiān)測(cè)

系統(tǒng)能夠全面監(jiān)測(cè)晶圓表面的熱分布區(qū)域，幫助工藝人員了解制程中的熱點(diǎn)和冷點(diǎn)位置，為優(yōu)化工藝參數(shù)提供重要參考。

無(wú)線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的多個(gè)環(huán)節(jié)，如光刻、刻蝕、化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、離子注入、清洗、化學(xué)機(jī)械拋光以及紫外光固化等。在這些應(yīng)用場(chǎng)景中，無(wú)線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)能夠發(fā)揮重要作用，為半導(dǎo)體制造過(guò)程的優(yōu)化和改進(jìn)提供有力支持。