狠狠色丁香久久综合婷婷亚洲成人福利在线-欧美日韩在线观看免费-国产99久久久久久免费看-国产欧美在线一区二区三区-欧美精品一区二区三区免费观看-国内精品99亚洲免费高清

            產(chǎn)品推薦:氣相|液相|光譜|質(zhì)譜|電化學(xué)|元素分析|水分測定儀|樣品前處理|試驗(yàn)機(jī)|培養(yǎng)箱


            化工儀器網(wǎng)>技術(shù)中心>工作原理>正文

            歡迎聯(lián)系我

            有什么可以幫您? 在線咨詢

            RIGAKU理學(xué)全內(nèi)反射 X 射線熒光光譜儀TXRF 310Fab

            來源:北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司   2025年03月17日 09:58  

            TXRF 310Fab 系列

            全內(nèi)反射 X 射線熒光光譜儀

            分析痕量從輕元素 Na 到重元素 U 的污染物元素

            采用轉(zhuǎn)子式高功率 X 射線發(fā)生器和新設(shè)計(jì)的入射 X 射線單色器。

            過渡金屬 LLD 10 采用直接 TXRF 測量方法8 原子/厘米2達(dá)到水平。 在封閉 X 射線管測量時(shí)間的 1/3 內(nèi)即可實(shí)現(xiàn)相同的精度,從而實(shí)現(xiàn)高通量。

            詢價(jià)詢問有關(guān)產(chǎn)品的問題TXRF 310Fab 系統(tǒng),用于通過 TXRF 進(jìn)行晶圓表面污染計(jì)量


            描述 TXRF 310Fab

            1 個(gè)靶標(biāo)、3 個(gè)光束系統(tǒng)

            這是一種方法,它使用三種類型的光譜晶體來提取被測元素的最佳單色 X 射線束,并將其用于污染元素激發(fā)。 用于輕元素測量的 W-Mα 射線不會(huì)激發(fā) Si,因此可以分析 Na、Mg 和 Al。 從 Na~U 連續(xù)進(jìn)行高精度自動(dòng)分析。

            通過去除衍射線將散線的影響降至很低

            它使用抑制高階反射的光學(xué)系統(tǒng)和 X-Y-theta 驅(qū)動(dòng)平臺(tái),自動(dòng) X 射線入射方向選擇功能消除了基板上的衍射線,并以最小的散射射線干擾實(shí)現(xiàn)高 S/N 測量。 可以對(duì)整個(gè)晶圓表面進(jìn)行準(zhǔn)確和高精度的痕量分析。

            可以與異物檢查坐標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行坐標(biāo)聯(lián)動(dòng)。

            異物檢查裝置的坐標(biāo)數(shù)據(jù)可以導(dǎo)入 TXRF 系統(tǒng),并且可以對(duì)顆粒存在點(diǎn)進(jìn)行污染元素分析。 滴灌跟蹤搜索功能使用的算法,需要快速準(zhǔn)確的坐標(biāo)。

            晶圓表面的高速污染物篩選 “Sweeping-TXRF function”

            Sweeping-TXRF 方法可用于使用直接 TXRF 方法高速測量晶圓表面的內(nèi)部,并闡明污染元素的分布狀態(tài)。 整個(gè)晶圓表面的污染分析是在短時(shí)間內(nèi)完成的,而代表性坐標(biāo)測量(如平面中的 5 或 9 個(gè)點(diǎn))無法捕獲。 300mm 晶圓整個(gè)表面的 5×1010 原子/厘米2 污染物檢測可在短短 50 分鐘內(nèi)完成。 除了污染物元素的分布外,還可以通過整合整個(gè)表面的測量值來計(jì)算晶圓表面的平均污染物濃度。

            邊緣排除 0mm 無損和非接觸式污染測量 “ZEE-TXRF 功能”

            我們已經(jīng)在晶圓邊緣附近實(shí)現(xiàn)了高靈敏度測量,這是迄今為止TXRF方法無法測量的。 現(xiàn)在可以使用 TXRF 在污染集中的邊緣進(jìn)行污染分析。

            晶圓背面的全自動(dòng)測量 “BAC-TXRF 功能”

            EFEM 中安裝了晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)器人,實(shí)現(xiàn)無人化和全自動(dòng)的 300mm 晶圓背面污染測量。 當(dāng)與 ZEE-TXRF 功能結(jié)合使用時(shí),可以對(duì)晶圓的每個(gè)部分進(jìn)行全面的污染分析和評(píng)估。

            兼容 300mm Fab

            配備 Fab 的標(biāo)準(zhǔn) FOUP/SMIF 接口,兼容 300mm/200mm 晶圓。 此外,它還支持各種 AMHS,并通過支持主機(jī)和 SECS/GEM 協(xié)議來支持 CIM/FA。


            TXRF 310Fab 規(guī)格

            產(chǎn)品名稱TXRF 310 晶圓廠
            技術(shù)全內(nèi)反射 X 射線熒光 (TXRF)
            痕量元素表面污染的測定
            科技三光束激發(fā)和自動(dòng)光學(xué)對(duì)準(zhǔn)
            主要組件旋轉(zhuǎn)與陰極 X 射線源,XYθ 樣品臺(tái)
            選擇用于全面工廠自動(dòng)化的 GEM-300 自動(dòng)化軟件
            控制 (PC)內(nèi)部 PC、MS Windows®作系統(tǒng)
            本體尺寸1200 (寬) x 2050(高) x 2546 (深) 毫米
            質(zhì)量1380 kg(主機(jī))
            權(quán)力三相 200 VAC 50/60 Hz,30 A



            免責(zé)聲明

            • 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
            • 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
            • 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
            企業(yè)未開通此功能
            詳詢客服 : 0571-87858618