大家知道，既然是百級(jí)潔凈工作臺(tái)，大家對(duì)于塵埃粒子這塊很看重。國(guó)家為此也制定了相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)，那么，你們知道百級(jí)潔凈工作臺(tái)塵埃粒子標(biāo)準(zhǔn)是什么嗎？

百級(jí)潔凈工作臺(tái)塵埃粒子標(biāo)準(zhǔn)一覽

一、標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)

主要參照標(biāo)準(zhǔn)

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)：如ISO 14644 - 1等系列標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)不同潔凈度級(jí)別下的塵埃粒子數(shù)量有明確規(guī)定。對(duì)于百級(jí)潔凈工作臺(tái)，該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了每立方米空氣中≥0.5μm和≥5μm塵埃粒子的數(shù)量上限，確保工作環(huán)境的高度潔凈。

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)：例如我國(guó)的GB 50073 - 2013《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》等相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，也對(duì)潔凈工作臺(tái)的塵埃粒子數(shù)量做出了具體規(guī)定，保證了在國(guó)內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境中的潔凈度要求。

標(biāo)準(zhǔn)的目的和意義

這些標(biāo)準(zhǔn)旨在統(tǒng)一潔凈工作臺(tái)的性能評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)，確保其能有效控制塵埃粒子濃度，為高精密度的實(shí)驗(yàn)、生產(chǎn)等提供合適的環(huán)境。比如在半導(dǎo)體制造中，一個(gè)微小的塵埃粒子都可能影響芯片的質(zhì)量和性能，所以嚴(yán)格的塵埃粒子標(biāo)準(zhǔn)是保證產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。

二、具體塵埃粒子數(shù)量標(biāo)準(zhǔn)

每立方米空氣中≥0.5μm塵粒數(shù)

對(duì)于百級(jí)潔凈工作臺(tái)，每立方米空氣中≥0.5μm的塵粒數(shù)應(yīng)不超過352000個(gè)。這是考慮到即使在高潔凈環(huán)境下，也難以消除所有的微小粒子，但通過嚴(yán)格控制可以將其數(shù)量限制在一個(gè)極低的水平，以滿足大多數(shù)高精度工作的需求。

例如，在一些高精度電子元器件的生產(chǎn)中，對(duì)塵埃粒子的控制要求高，此標(biāo)準(zhǔn)能夠減少塵埃對(duì)產(chǎn)品的影響。

每立方米空氣中≥5μm塵粒數(shù)

每立方米空氣中≥5μm的塵粒數(shù)要求為0。這是因?yàn)橄鄬?duì)較大顆粒的塵埃更容易對(duì)精密工作產(chǎn)生干擾，如在光學(xué)鏡頭制造、生物樣品處理等過程中，大顆粒塵?？赡軙?huì)導(dǎo)致劃痕、污染等問題，所以必須嚴(yán)格限制其數(shù)量為零，以確保工作環(huán)境的潔凈。

三、檢測(cè)方法與合格判定

檢測(cè)方法

通常采用激光粒子計(jì)數(shù)器等專業(yè)設(shè)備進(jìn)行檢測(cè)。檢測(cè)時(shí)，采樣頭位于工作臺(tái)面中心位置上方0.1m處，以不大于0.3m/s的速度進(jìn)行非定向采樣，采樣時(shí)間根據(jù)設(shè)備而有所不同，但需滿足最小采樣量的要求。

例如，對(duì)于小型潔凈工作臺(tái)，可能需要在多個(gè)位置進(jìn)行多次采樣，以確保檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和代表性。

合格判定

若檢測(cè)結(jié)果顯示每立方米空氣中≥0.5μm和≥5μm塵埃粒子數(shù)量均符合上述標(biāo)準(zhǔn)，且連續(xù)檢測(cè)三次的結(jié)果穩(wěn)定，則判定該潔凈工作臺(tái)的塵埃粒子控制符合百級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。

如果有一項(xiàng)或多項(xiàng)指標(biāo)超出標(biāo)準(zhǔn)，則判定為不合格，需要對(duì)潔凈工作臺(tái)進(jìn)行檢查和調(diào)整，如更換過濾器、檢查密封情況等，然后重新檢測(cè)，直至合格為止。