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光刻膠溶液和 SOG 中的顆?？梢詼y量 0.15 μm 以上的顆粒
可連接到多點監(jiān)控系統(tǒng)
規(guī)范
| 光學(xué)系統(tǒng)方式 | 橫向散射法 |
|---|---|
| 光源 | 二極管激光器（波長 830 nm，額定功率 200 mW） |
| 接液部件材料 | 合成石英，PFA |
| 粒度分類 | 0.15 μm~0.5 μm 范圍內(nèi)的 10 個級別運輸：0.15 μm、0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm 或更高的 4 個級別 |
| 額定流量 | 10 毫升/分鐘 |
| 最大顆粒計數(shù)濃度 | 1,200 單位/mL（計數(shù)丟失在 5% 以內(nèi)） |
| 權(quán)力 | DC12 V（由 KE-40B1 供電） |
| 大小 | 約 160 毫米（水平）× 300 毫米（寬）× 251 毫米（深）毫米（不包括突出部分） |
| 重量 | 約 7.5 kg |
粒子計數(shù)器是測試空氣塵埃粒子顆粒的粒徑及其分布的專用儀器，由顯微鏡發(fā)展而來，經(jīng)歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數(shù)器、激光空氣粒子計數(shù)器、凝結(jié)核粒子計數(shù)器、多通道多功能粒子計數(shù)器等過程， 廣泛應(yīng)用于為各省市藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質(zhì)量監(jiān)督所等機構(gòu)、電子行業(yè)、制藥車間、半導(dǎo)體、光學(xué)或精密機械加工、塑膠、噴漆、醫(yī)院、環(huán)保、檢驗所等生產(chǎn)企業(yè)和科研部門。
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