RIGAKUT日本理學(xué)XHEMIS TX-3000V 內(nèi)置 VPD 的 TXRF 光譜儀

來源：北崎國際貿(mào)易（北京）有限公司 2025年04月23日 10:20

XHEMIS TX-3000V

VPD 的最高靈敏度

兼容最大 300 毫米的晶圓

技術(shù)	全內(nèi)反射 X 射線熒光光譜法（TXRF）與氣相分解（VPD）
用	微量元素表面污染測量 niyoru 1E7 原子/cm2 檢測限標(biāo)測速度提高約 3 倍
科技	集成自動(dòng) VPD 制備、三光束激發(fā)和自動(dòng)光學(xué)元件更換
主要組件	三探測器配置：高功率 W 與陰極 X 射線源（9 kW 旋轉(zhuǎn)與陰極） 3 種激發(fā)能量，針對輕元素、過渡元素和重元素進(jìn)行了優(yōu)化 XYθ 樣品臺(tái) 雙 FOUP 負(fù)載端口
特征	全晶圓映射（SWEEPING-TXRF）零邊緣排除（ZEE-TXRF）集成自動(dòng) VPD 預(yù)處理（VPD-TXRF）用于硅晶圓的雙 FOUP 加載端口，可實(shí)現(xiàn)最高靈敏度
選擇	背面分析（BAC-TXRF） GEM300 軟件，E84/OHT 支持氣相處理（VPT-TXRF），以提高靈敏度，同時(shí)保留空間信息 VPD 用于親水性晶圓表面（例如 SiC）
本體尺寸	1280 （W） x 3750 （D） x 2040 （H）（不包括顯示器和信號(hào)塔）
測量結(jié)果	定量結(jié)果、光譜圖、彩色等值線圖、映射表

相關(guān)產(chǎn)品

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。

企業(yè)未開通此功能

詳詢客服 : 0571-87858618

確定

