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一、 擴(kuò)散氧化退火爐的作用和原理
擴(kuò)散氧化退火爐是一種用于半導(dǎo)體器件制造的設(shè)備，其主要作用是在高溫下進(jìn)行氧化和退火等處理，以改善半導(dǎo)體器件的性能。
在擴(kuò)散氧化退火爐中，半導(dǎo)體器件通過(guò)輸送系統(tǒng)進(jìn)入爐體中，在高溫和特定氣氛下進(jìn)行處理。這些處理包括氧化、退火、摻雜等多個(gè)過(guò)程，可以改善半導(dǎo)體器件的性能和可靠性。
二、 爐體中的鎢絲
爐體中的鎢絲是擴(kuò)散氧化退火爐的一個(gè)關(guān)鍵組成部分。在進(jìn)行高溫處理時(shí)，鎢絲作為熱源，提供必要的能量以確保處理溫度的均勻性和一致性。
此外，鎢絲還可以起到調(diào)控氣氛的作用。在處理過(guò)程中，通過(guò)控制氣氛中的成分和壓力，可以對(duì)處理過(guò)程進(jìn)行精確的控制和調(diào)整。鎢絲作為爐體中的一個(gè)組成部分，需要具備良好的耐高溫性和穩(wěn)定性，以確保處理的精度和可靠性。
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