「應(yīng)用案例」SDS研磨液供液系統(tǒng)液位檢測 屏蔽泡沫
研磨液供液系統(tǒng)SDS(Slurry Delivery System)是用來為CMP設(shè)備供給研磨液的。研磨液在SDS和水或雙氧水等按一定比例混配好之后,然后通過管路再輸送到CMP機臺研磨單元的slurry arm 供研磨過程中使用。因此,SDS能夠提供流量穩(wěn)定不間斷的研磨液,精準(zhǔn)的配比,并且在輸送管路中沒有結(jié)晶,對CMP工藝非常重要。
客戶痛點:研磨液在配比和使用過程會產(chǎn)生泡沫,普通的電容傳感器在管道上檢測液位的時候會對泡沫產(chǎn)生誤信號。
解決方案:訊巴赫智能電容傳感器SCBT 3045,采用電容調(diào)頻技術(shù)和多模態(tài)補償算法,有效屏蔽泡沫,穩(wěn)定檢測;
產(chǎn)品特點:
電容調(diào)頻技術(shù)和多模態(tài)補償算法,可靠檢測多種介質(zhì),抗掛料能力強;
PNP/NPN 常開/常閉可設(shè)置;
Teach in模式,可以自動識別物料,有效屏蔽泡沫;
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