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用超純水進(jìn)行精確清潔對于制造半導(dǎo)體零件至關(guān)重要。
概述
正常的精度清潔涉及用超純水清潔，幾乎沒有離子成分，這可能會導(dǎo)致靜電，在某些情況下，以下問題可能導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷。
由于靜電而導(dǎo)致的電路故障（=靜電損傷）
由于表面電荷和清潔材料的靜電導(dǎo)致細(xì)顆粒的重新連接
將二氧化碳?xì)怏w溶解在超純水（酸性功能水）中的巨型兆孔解決了由靜電引起的障礙，并有助于減少產(chǎn)品缺陷（提高產(chǎn)量）。
用途
在劃分過程中清潔
高壓噴射清潔
洗滌器清潔
清潔LCD面板
清潔光掩膜和標(biāo)線
特征
細(xì)顆粒污染的風(fēng)險較小，二氧化碳消耗較少
對于反饋控制，可以快速控制目標(biāo)電阻率值，以防止流速波動。
進(jìn)入和離開設(shè)備時，超純水的低壓損失
CE標(biāo)記*可以出口到歐洲的系列
支持較大的流速（可用的大流量模型）
*歐洲（EU）指令中規(guī)定的安全標(biāo)準(zhǔn)和顯示系統(tǒng)
特征
二氧化碳通過膜溶解在超純水中。
MegConⅱ+“ PRC系列”模型和規(guī)格
| 系列 | 機柜類型 | 內(nèi)置空氣泵“ PRC II + - （下面的型號）” | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 模型 | 標(biāo)準(zhǔn) | 1000ACD | 1200ACD | 2000ACD | 1220ACD | 2040ACD |
| S類型*2 | 1000ACD-S | 1200ACD-S | 2000ACD-S | 1220ACD-S | 2040ACD-S | |
| 表現(xiàn) | 最大流速L/HR | 1000 | 1000 | 2000 | 2000 | 4000 |
| 控制區(qū)域* 1MΩ?cm | 0.2-2.0 | 0.1-0.5 | 0.2-2.0 | 0.15-1.0 | 0.2-2.0 | |
| 尺寸 | 標(biāo)準(zhǔn) | 520W x 400d x 1150h毫米 | ||||
| S類型*2 | 520W x 400d x 1415h mm | |||||
| 重量 | 標(biāo)準(zhǔn) | 65公斤 | 70公斤 | |||
| S類型*2 | 66公斤 | 71公斤 | ||||
| 潤濕部分 | 細(xì)胞（二氧化碳?xì)怏w簡介部分）：PP | 細(xì)胞（二氧化碳?xì)怏w簡介部分）：PP | ||||
| 材料 | 管道：PVC，刀片軟管 | 管道：PVC | ||||
| 超純水連接直徑 | RC1/2 | RC3/4 | RC1 1/4 | |||
| 公用事業(yè) | 超純水 | 壓力：正常使用：0.35MPA或更少（最大0.45MPA或更少） /溫度：5-35°C /水質(zhì)：10MΩCM或更多 | ||||
| CO 2氣體 | 壓力：0.1-0.2MPA /溫度：5-35°C /純度：99.5％或更多 | |||||
| 干空氣 （用于干燥膜） | 它不需要空氣泵內(nèi)置。 | |||||
| 電源 | AC100-240V（50/60Hz） | |||||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 說明手冊，檢查報告 | |||||
| AC100-120V：電源線2.8m（帶插頭） | ||||||
| AC200-240V：電源線5m（無插頭） | ||||||
| 系列 | 機架類型 | 內(nèi)置空氣泵“PRCⅱ + - （下面的型號）” 外部空氣供應(yīng)類型“FRCⅱ + - （下面的型號）” | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 模型 | 1000AD | 1200AD | 2000AD | 1220AD | |
| 表現(xiàn) | 最大流速L/HR | 1000 | 1000 | 2000 | 2000 |
| 控制區(qū)域* 1MΩ?cm | 0.2-2.0 | 0.1-0.5 | 0.2-2.0 | 0.15-1.0 | |
| 尺寸 | 480W x 355d x 200H毫米 | ||||
| 重量 | 15公斤 | ||||
| 潤濕部分 | 細(xì)胞（二氧化碳?xì)怏w簡介部分）：PP | ||||
| 材料 | 管道：PVC，刀片軟管 | ||||
| 超純水連接直徑 | 軟管噴嘴（刀片軟管的IDφ19） | ||||
| 公用事業(yè) | 超純水 | 壓力：正常使用：0.35MPA或更少（最大0.45MPA或更少） /溫度：5-35°C /水質(zhì)：10MΩCM或更多 | |||
| CO 2氣體 | 壓力：0.1-0.2MPA /溫度：5-35°C /純度：99.5％或更多 | ||||
| 干空氣 （用于干燥膜） | “ PRC”系列：無需空氣泵 | ||||
| “ FRC”系列：0.1-0.2MPA | |||||
| 電源 | AC100-240V（50/60Hz） | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 說明手冊，檢查報告 | ||||
| AC100-120V：電源線2.8m（帶插頭） | |||||
| AC200-240V：無電線（連接到端子塊） | |||||
*1：最小電阻率值是當(dāng)流速約為500L/hr時達(dá)到的值。
*2：-s類型帶有帶有蜂鳴器 + callinger和腳輪的兩色燈塔。
*即使在瞬時使用的情況下，在0.45MPa或更少的情況下，使用0.35MPa的超純水壓力。
*規(guī)格和描述如有更改，恕不另行通知。
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