當(dāng)前,傳感器技術(shù)的主要發(fā)展動(dòng)向,一是開(kāi)展基礎(chǔ)研究,發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象,開(kāi)發(fā)傳感器的新材料和新工藝;二是實(shí)現(xiàn)傳感器的集成化與智能化。
1>.發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象,開(kāi)發(fā)新材料,——新現(xiàn)象、新原理、新材料是發(fā)展傳感器技術(shù),研究新型傳感器的重要基礎(chǔ),每一種新原理、新材料的發(fā)現(xiàn)都會(huì)伴隨著新的傳感器種類(lèi)誕生。
2>.集成化,多功能化——向敏感功能裝置發(fā)展 傳感器的集成化,zui近積極地應(yīng)用了半導(dǎo)體集成電路技術(shù)及其開(kāi)發(fā)思想用于傳感器制造。如采用微細(xì)加工技術(shù)MEMS(Microelectro-Mechanical System)制作微型傳感器 ;采用厚膜和薄膜技術(shù)制作傳感器等。
3>.向未開(kāi)發(fā)的領(lǐng)域挑戰(zhàn)——生物傳感器 到目前為止,正大力研究。開(kāi)發(fā)的傳感器大多為物理傳感器,今后應(yīng)積極開(kāi)發(fā)研究化學(xué)傳感器和生物傳感器。特別是智能機(jī)器人技術(shù)的發(fā)展,需要研制各種模擬人的感覺(jué)器官的傳感器,如已有的機(jī)器人力覺(jué)、觸覺(jué)傳感器、味覺(jué)傳感器等。
4>.智能傳感器(Smart sensor)——具有判斷能力、學(xué)習(xí)能力的傳感器。事實(shí)上是一種帶微處理器的傳感器,它具有檢測(cè)、判斷和信息處理功能。
如美國(guó)霍尼韋爾公司制作的ST-3000型智能傳感器,采用半導(dǎo)體工藝,在同一芯片上制作CPU.EPROM和靜態(tài)壓力、壓差、溫度三種敏感元件。
從構(gòu)成上看,智能式傳感器是一個(gè)典型的以微處理器為核心的計(jì)算機(jī)檢測(cè)系統(tǒng)。它一般由下圖所示的幾個(gè)部分構(gòu)成:
圖 智能化傳感器的構(gòu)成
同一般傳感器相比,智能式傳感器有以下幾個(gè)顯著特點(diǎn):
(1)精度高 由于智能式傳感器具有信息處理的功能,因此通過(guò)軟件不僅可以修正各種確定性系統(tǒng)誤差(如傳感器輸入輸出的非線性誤差、溫度誤差、零點(diǎn)誤差、正反行程誤差等),而且還可以適當(dāng)?shù)匮a(bǔ)償隨機(jī)誤差,降低噪聲,從而使傳感器的精度大大提高。
(2)穩(wěn)定、可靠性好 它具有自診斷、自校準(zhǔn)和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能,對(duì)于智能結(jié)構(gòu)系統(tǒng)還有自適應(yīng)功能。
(3)檢測(cè)與處理方便 它不僅具有一定的可編程自動(dòng)化能力,可根據(jù)檢測(cè)對(duì)象或條件的改變,方便地改變量程及輸出數(shù)據(jù)的形式等,而且輸出數(shù)據(jù)可通過(guò)串行或并行通訊線直接送入遠(yuǎn)地計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理。
(4)功能廣 不僅可以實(shí)現(xiàn)多傳感器多參數(shù)綜合測(cè)量,擴(kuò)大測(cè)量與使用范圍,而且可以有多種形式輸出(如RS232串行輸出,PIO并行輸出,IEEE-488總線輸出以及經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換后的模擬量輸出等)。
(5)性能價(jià)格比高 在相同精度條件下,多功能智能式傳感器與單一功能的普通傳感器相比,其性能價(jià)格比高,尤其是在采用比較便宜的單片機(jī)后更為明顯。
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