一、高溫爐產(chǎn)品特性
- 自然空氣隔熱式,輕巧易搬運(yùn)。
- 升溫速度快,0-30℃/min可以自由設(shè)定。
- 爐內(nèi)兩面輻射方式加熱,溫度分布均勻。
- 溫度控制:PID自動(dòng)控制LED數(shù)字顯示。
- 保溫:進(jìn)口耐高溫陶瓷棉保溫及陶瓷板、巖棉三重保溫。
- 加熱器:瑞典進(jìn)口KANTHAL加熱器,耐用、升溫穩(wěn)定、加熱速度快。
- 內(nèi)部采用耐高溫陶瓷板,不易變形,外部采用鍍鋅加高溫烤漆美觀,不易掉漆。
二、高溫爐操作規(guī)程1 準(zhǔn)備工作a,檢查電源線接觸是否良好b,檢查連接線是否正常c,檢查冷卻水是否正常d,檢查密封性是否正常e, 準(zhǔn)備所需工具:無(wú)塵紙、*、帆布手套、作業(yè)手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤2 開爐a,打開主電源開關(guān)b, 向爐體充氬氣至大氣壓,打開爐體前門,取下石墨蓋板c, 將輸送車開關(guān)打至 OUT,依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按鈕,取出 。石墨坩堝,依次放置于石墨推車上輸送車開關(guān).d, 清爐 清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物3裝料a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺(tái)上,使用限位桿確定其位置,依次裝入硅料。b、拔出限位桿,輸送車開關(guān)打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,將坩堝裝入爐膛內(nèi),并確定輸送車會(huì)到初始位置。c、裝入石墨蓋板,擰緊石墨螺栓,關(guān)緊爐門4 抽氣a、檢查爐門是否關(guān)緊,真空系統(tǒng)是否密封b、置 DP 按鈕于 DP ON,打開干式真空泵,打開真空計(jì)開關(guān) P1G1,打開干式真空泵 。閥門,開始抽氣測(cè)試泄漏率,c、當(dāng)壓力表指示為 50Pa是關(guān)閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min,打開氬氣閥門充氬氣(20L/min)。- 加熱 先打開水環(huán)泵 再按 RUN,開始工藝加熱。
- 冷卻
a、加熱結(jié)束后,按工藝條件進(jìn)行冷卻;
三、高溫爐注意事項(xiàng)- 除了做實(shí)驗(yàn)外,不要停留在管區(qū)。
- 實(shí)驗(yàn)工作完畢時(shí),若無(wú)人繼續(xù)使用,請(qǐng)關(guān)特殊氣體,保留N2流動(dòng), 爐管保持在standby溫度,并查看是否有其它電源該關(guān)而沒有關(guān),如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它,請(qǐng)隨手關(guān)掉。
- 處理HF時(shí),請(qǐng)戴手套,如不小心碰到HF時(shí),請(qǐng)立刻沖水,用葡萄酸鈣加2%之水,揉擦傷處15'。
- 石英玻璃制品請(qǐng)小心使用,以免破裂,引起嚴(yán)重割傷。
- 避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。
- 氰化鉀(KCN)不可與酸類混置,因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。
- 一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時(shí),請(qǐng)立即通知有關(guān)人員(技術(shù)員等)。
- 請(qǐng)節(jié)約純水用量。
- 破晶片、濾紙、棉花棒.......等,請(qǐng)勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板漬水。
- 長(zhǎng)短推桿之前端,在還沒使用到時(shí),請(qǐng)朝上以免污染。
- 晶片進(jìn)出爐口時(shí),承接boat的holder,請(qǐng)勿碰觸爐管口,以免污染爐管。
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