資料簡(jiǎn)介
SMC面向半導(dǎo)體行業(yè)推出的無(wú)氟利昂(CO?冷媒)溫控器,以環(huán)保性、高效性、穩(wěn)定性和智能性為核心優(yōu)勢(shì),契合行業(yè)對(duì)環(huán)保與高精度溫控的雙重需求。
應(yīng)用優(yōu)勢(shì):
合規(guī)性與成本優(yōu)化
零氟利昂管理:無(wú)需回收或處理費(fèi)用,降低合規(guī)成本。
減少碳足跡:GWP值較傳統(tǒng)冷媒降低99%以上,助力企業(yè)實(shí)現(xiàn)碳中和目標(biāo)。
生產(chǎn)效率提升
高穩(wěn)定性溫控:減少因溫度波動(dòng)導(dǎo)致的良率損失,提升生產(chǎn)效率。
快速響應(yīng)能力:變頻泵與智能控制結(jié)合,縮短工藝切換時(shí)間。
長(zhǎng)期可靠性
無(wú)泄漏設(shè)計(jì):集液罐與泵一體化設(shè)計(jì),避免循環(huán)液外部泄漏。
長(zhǎng)壽命部件:采用耐腐蝕材料與高精度制造工藝,延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。
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