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Leica DM8000M-CDM CD測量設(shè)備
- 公司名稱 上海江文國際貿(mào)易有限公司
- 品牌
- 型號 Leica DM8000M-CDM
- 產(chǎn)地 德國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2015/10/4 15:00:25
- 訪問次數(shù) 585
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合金孔隙率檢測儀 光學(xué)數(shù)碼顯微鏡 晶圓檢查顯微鏡 FPD檢查顯微鏡 導(dǎo)電粒子檢測顯微鏡 OLED檢查顯微鏡 CD測量設(shè)備 孔隙率測量顯微鏡 三維超景深顯微鏡,超景深三維視頻顯微鏡,超景深三維顯微鏡
德國徠卡DM8000M-CDM系列測量針對半導(dǎo)體制程中光學(xué)檢測需求開發(fā)設(shè)計,同時具有套刻、線寬和缺陷檢測三種功能,可滿足90nm工藝節(jié)點的套刻測量,0.5um以上的線寬測量及用戶自定義的缺陷檢測。
Leica DM8000M采用*的圖形處理技術(shù)和成像系統(tǒng),具有測量精度高、速度快、應(yīng)用靈活等特點,可使用于半導(dǎo)體工藝、微納加工、MEMS、LED等領(lǐng)域中的良率控制。
可支持晶圓尺寸:max :8"Inch
zui小可測量線寬:0.5um
線寬測量重復(fù)性:3σ≤8 nm
套刻測量重復(fù)性:3σ≤6 nm
支持缺陷類型:顆粒;刮傷; 圖形損壞或客戶定義的缺陷類型
聚焦方式:自動
上/下片方式:手動