Tergeo 美國PIE等離子清洗機
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Tergeo
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/5/16 16:49:28
- 訪問次數(shù) 2982
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
二、美國PIE等離子清洗機的特點
1、13.56MHz高頻射頻發(fā)生器；
2、7英寸觸摸屏控制界面，全自動操作；
3、標(biāo)配75W版本，可選150W版本；
4、系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化。
三、美國PIE等離子清洗機技術(shù)參數(shù)
1、控制系統(tǒng)
1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面，支持多種工作方式。
2）程序控制：可編程，總共有20個程序，每個程序有3個清潔步驟。
2、反應(yīng)腔體
1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙；
2）腔體容積：2.6L；
3）腔體尺寸：內(nèi)徑：110毫米，深度：280毫米。
3、射頻電源
1）射頻頻率：13.56MHz；
2）射頻功率：標(biāo)配0~75W；從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào)，可選0~150W；。
4、等離子源
1）等離子強度探測器實時測量等離子源強度。
2）外置電極設(shè)計，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。
5、氣體控制
1）氣路控制：標(biāo)配一路MFC；可選配三路MFC；
2）質(zhì)量流量計可以在0~100sccm之間準(zhǔn)確控制氣體流量；
3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。
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