化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>工業(yè)在線及過程控制儀>流量計(jì)流速儀/測(cè)漏儀>質(zhì)量流量計(jì)>SEC E40 日本HORIBA經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器
SEC E40 日本HORIBA經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器
- 公司名稱 廣州沃華儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) SEC E40
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2023/8/28 12:12:19
- 訪問次數(shù) 2048
聯(lián)系方式:謝敏13903003585 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
差壓表,差壓變送器,差壓開關(guān),溫濕度變送器,風(fēng)速變送器,流量計(jì),流量開關(guān),液位變送器,液位開關(guān),CO2變送器,油中水分變送器,壓差計(jì),風(fēng)速儀,熱電偶等儀器儀表
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
---|---|---|---|
價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí),必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在必須對(duì)流量進(jìn)行精確計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域,日本HORIBA經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
特征
· 適用于寬廣范圍的流量控制,其控制范圍可以從0.2 SCCM到500 SLM(以N2為標(biāo)準(zhǔn))
· 被廣泛的使用于的制造業(yè),從一般工業(yè)到高科技產(chǎn)業(yè)。
日本HORIBA經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器規(guī)格
技術(shù)規(guī)格
型號(hào) | SEC- (質(zhì)量流量控制器) | E40/E40MK3 | E50/E50MK3 |
SEF- (質(zhì)量流量計(jì)) | E40 | E50 | |
適用氣體種類*1 | 非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He) | ||
氣體接觸部材質(zhì) | SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼 | ||
閥門型號(hào) | 非通電時(shí) 關(guān)閉 | ||
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
流量控制范圍 | 2?100% F.S. | ||
流量測(cè)量范圍 | 0?100% F.S. | ||
響應(yīng)速度 | 1秒以內(nèi)(T98) | ||
流量精度 | ±1% F.S. | ||
直線性 | ±0.5% F.S. | ||
反復(fù)性 | ±0.2% F.S. | ||
工作差壓值值 | 10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) | ||
使用壓力 | 300kPa(G)以下 | ||
耐 壓 | 1MPa(G)以下 | ||
外部泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 | ||
使用環(huán)境溫度 | 5?50℃(精度的確保:15?35℃) | ||
流量設(shè)定信號(hào) | 0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S. | ||
流量輸出信號(hào) | 0?5VDC(zui小負(fù)荷電阻2kΩ) | ||
驅(qū)動(dòng)電源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | +15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2 | 1/4SWL 類型 |
型號(hào) | SEC- (質(zhì)量流量控制器) | E60 | E70 | E80 |
SEF- (質(zhì)量流量計(jì)) | E60 | E70 | E80 | |
適用氣體種類*1 | N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10 | N2、O2、Air、H2 | ||
氣體接觸部材質(zhì) | SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼 | |||
閥門型號(hào) | 非通電時(shí) 關(guān)閉 | |||
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) | 50/100 SLM | 200 SLM | 300/500 SLM | |
流量控制范圍 (適于SEC系列) | 5?100% F.S. | |||
流量測(cè)量范圍 (適于SEF系列) | 0?100% F.S. | |||
響應(yīng)速度 | 1秒以內(nèi)(T98) | 2秒以內(nèi)(T98) | ||
流量精度 | ±1% F.S. | ±2% F.S. | ||
直線性 | ±0.5% F.S. | ±1% F.S. | ||
反復(fù)性 | ±0.5% F.S. | ±1% F.S. | ||
工作差壓值值(適于SEC系列) | 100?300kPa(d) | 200?350kPa(d) | ||
使用壓力 (適于SEF系列) | 350kPa(G)以下 | |||
耐 壓 | 1MPa(G)以下 | |||
外部泄漏率 | 1×10-7Pa?m3/s(He)以下 | 450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內(nèi) | ||
使用環(huán)境溫度 | 5?45℃(精度的確保:15?35℃) | |||
流量設(shè)定信號(hào) | 0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S. | |||
流量輸出信號(hào) | 0?5VDC(zui小負(fù)荷電阻2kΩ) | |||
驅(qū)動(dòng)電源 | +15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |||
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2 | 3/8SWL 類型 | 1/2SWL 類型 |
*1:關(guān)于記載以外的氣體種類,請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
*2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動(dòng)清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:zui大值300kPa(G);SEC-70/80:zui大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號(hào)。
相關(guān)分類
該廠商的其他產(chǎn)品
- SEC-2000 日本HORIBA高溫應(yīng)用的質(zhì)量流量控制器
- S48 28/HMT 日本HORIBA METRON氣體質(zhì)量流量控制器流量計(jì)
- SEC-N112 日本HORIBA數(shù)字式質(zhì)量流量控制器流量計(jì)
- GFCS-019415 GFM/GFC 氣體質(zhì)量流量計(jì)質(zhì)量流量控制器
- GFCS-019414 GFM/GFC 氣體質(zhì)量流量計(jì)質(zhì)量流量控制器
- GFCS-019454 GFM/GFC 氣體質(zhì)量流量計(jì)質(zhì)量流量控制器
- GFC-S2102 GFM/GFC 氣體質(zhì)量流量計(jì)
- GFM-S2102 GFM/GFC 氣體質(zhì)量流量計(jì)