泵組

真空旋片泵

抽速

 ≥4m3/h

極限真空

 <1 Pa

工作氣壓

 4 -10 Pa，可恒壓控制

抽真空時間

 <3-5 Min

真空規(guī)

皮拉尼真空計

樣品腔室尺寸

 ~? 150 *110 mm 耐劃傷石英玻璃

 標配全鋁腔體自動旋轉偏轉樣品臺

磁控濺射靶

 靶材尺寸 ? 50 *0.2 mm

濺射電源

 恒功率磁控DC濺射電源 Max. 20W ，Max. 100 mA，0-800 V DC

濺射時間

 可程序設定

操作方式

觸摸屏控制

重量

 ~20 kg

尺寸

~400 mm長 *337mm深 *346 mm高

電源

 100-220V AC，50/60Hz 接地三腳插頭

功耗

 <500 W

冷卻方式

 風冷

質量保證

 一年免費/終身維護

備注

 以上所列技術規(guī)格與參數(shù)更新恕不另行通知，如有疑問請聯(lián)系我們