ISC150T 高真空離子濺射儀
| 參考價 | ￥ 200000 |
| 訂貨量 | ≥1 臺 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市速普儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 ISC150T
- 產(chǎn)地 深圳市南山區(qū)南山街道桂廟路北向南瑞峰花園 1 棟 209
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2023/2/20 11:39:24
- 訪問次數(shù) 436
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| 靶材材質(zhì) | au/pt/pd/W/C/Cr/NI/Cu | 靶材尺寸 | 50mm |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
| 濺射氣體 | 空氣/Ar | 控制方式 | 觸摸屏 |
| 樣品倉尺寸 | 150*120mm | 樣品臺尺寸 | 80mm |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,地礦,電子/電池,航空航天,汽車及零部件 |
技術(shù)規(guī)格 | 參數(shù) |
真空泵組 | 進(jìn)口品牌無油干泵+分子泵組 |
泵組抽速 | >0.7 m3/h隔膜泵+60 L/S 分子泵 |
極限真空 | <10E-3 Pa |
工作氣壓 | 0.5-2 Pa |
抽空時間 | <5 Min |
真空測量 | 測量范圍大氣壓到10E-3 Pa，進(jìn)口品牌真空計 |
氣體控制 | MFC氣體質(zhì)量流量控制器（50 SCCM Ar） |
腔室尺寸 | ~? 150 *110 mm 耐劃傷石英玻璃 標(biāo)配全鋁腔體自動旋轉(zhuǎn)偏轉(zhuǎn)樣品臺 |
磁控靶源 | 靶材尺寸 ? 50 *0.1-3 mm （建議厚度>0.2 mm）/ 帶手動擋板 可濺射貴金屬Au/Pt等，也可濺射Cr、W、Ag等常規(guī)金屬（通Ar氣） |
濺射電源 | 恒功率磁控DC濺射電源 Max. 30W ，Max. 100 mA |
濺射時間 | 可程序設(shè)定 |
操作方式 | 觸摸屏控制 |
重量尺寸 | ~30 Kg / 500 mm寬*400 mm深*470 mm高 |
輸入電源 | 110-220V AC，50/60Hz 接地三腳插頭 |
輸入功耗 | <500 W |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
質(zhì)量保證 | 一年免費(fèi)/終身維護(hù) |
備注 | 以上所列技術(shù)規(guī)格與參數(shù)更新恕不另行通知，如有疑問請聯(lián)系我們 |
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