等離子體表面處理儀VP-R5采用低溫真空石英腔體等離子清洗裝置技術(shù)，石英材質(zhì)真空腔體不與等離子體產(chǎn)生反應(yīng)，不會(huì)污染樣品，兩路進(jìn)氣通道，進(jìn)氣量可調(diào)，流量實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，數(shù)顯真空檢測(cè)，PLASMA等離子處理結(jié)束，自動(dòng)泄壓并實(shí)時(shí)觀察自動(dòng)泄壓動(dòng)態(tài)，中英文操作系統(tǒng)，觸摸屏自動(dòng)控制，功率160W，頻率13.56MHz，能對(duì)材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用，滿功率運(yùn)行30分鐘，腔體溫度不高于32℃，不損傷樣品，適用于微流控芯片PDMS鍵合、ITO導(dǎo)電玻璃、石墨烯、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理。

      廣州善準(zhǔn)科技有限公司（Guangzhou SunJune Technolog Co.,Ltd）位于中國(guó)廣州，專注于等離子體表面處理儀、真空等離子處理儀、旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀、旋轉(zhuǎn)型等離子體低溫灰化儀和石英管真空封管機(jī)的研究、開(kāi)發(fā)和制造。善準(zhǔn)人經(jīng)過(guò)多年的刻苦鉆研，抽絲剝繭，反復(fù)測(cè)試、成功獲得“一種低溫旋轉(zhuǎn)型石英等離子表面處理裝置：ZL202020226847.2）”等十項(xiàng)國(guó)家技術(shù)及軟件著作權(quán)，成為國(guó)內(nèi)掌握產(chǎn)生13.56MHz頻率，保證滿功率清洗30分鐘真空腔體內(nèi)溫度不超過(guò)32攝氏度的等離子生產(chǎn)廠家，應(yīng)用此技術(shù)的VP-R系列迅速成為行業(yè)“爆款”，補(bǔ)充國(guó)內(nèi)技術(shù)空白，性能比肩一線廠家；技術(shù)研發(fā)生產(chǎn)的VP-T系列旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀和VP-TA旋轉(zhuǎn)型等離子體低溫灰化儀成功推出，進(jìn)一步鞏固了善準(zhǔn)科技在真空等離子清洗行業(yè)的地位；而回應(yīng)市場(chǎng)需求，解決樣品在無(wú)氧無(wú)水條件下進(jìn)行PLASMA處理的痛點(diǎn)而推出的手套箱專用分體式真空等離子處理儀和解決卷材進(jìn)行PLASMA處理難點(diǎn)而研發(fā)的卷對(duì)卷真空等離子處理儀，則驗(yàn)證了善準(zhǔn)人與時(shí)俱進(jìn)的研發(fā)能力和敢為人先的風(fēng)格；VS-Q系列石英管真空封管機(jī)很好地解決實(shí)驗(yàn)室安全、簡(jiǎn)易地真空密封石英管的難點(diǎn)，是對(duì)石英管真空密封技術(shù)的重新定義。