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            產(chǎn)品展廳

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            發(fā)布詢價單

            化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學儀器及設備>光學測量儀>橢偏儀> 膜厚量測橢偏儀 QUASAR-E100系列

            膜厚量測橢偏儀 QUASAR-E100系列

            具體成交價以合同協(xié)議為準
            • 公司名稱 北京愛蛙科技有限公司
            • 品牌 晶諾微
            • 型號
            • 產(chǎn)地
            • 廠商性質(zhì) 代理商
            • 更新時間 2024/4/2 13:19:44
            • 訪問次數(shù) 150
            產(chǎn)品標簽

            膜厚橢偏儀

            聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


            愛蛙科技(iFrog Technology)致力于應用光譜知識來開啟認知和解決問題,幫助工業(yè)界和科研人員應對新時代新課題的挑戰(zhàn),利用光的力量促進更健康、更安全、更環(huán)保的發(fā)展。北京愛蛙科技有限公司是海洋光學(Ocean Insight)合作伙伴,提供光譜分析儀器銷售、租賃、維護,以及解決方案定制、軟件開發(fā)在內(nèi)的全鏈條一站式精準服務。


            光譜傳感解決方案,定制開發(fā),光譜儀,光學元件,膜厚儀,缺陷檢測

            產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應用領域 綜合

            膜厚量測橢偏儀 QUASAR-E100系列

            橢偏儀 QUASAR-E100是一款桌面式光譜橢偏膜厚儀,它為客戶提供更加準確和更加穩(wěn)定的厚度和折射率測量,廣泛應用于科研、半導體、液晶、太陽能制造等領域,適用于對厚度和折射率測量有更高精度要求的應用場景


            橢偏儀 QUASAR-E100產(chǎn)品的特點

             

            ~各種尺寸樣品測量

            可測量如4-12英寸的晶圓及其他各種不規(guī)則形狀樣品

             

            ~測量精度和穩(wěn)定性高

            相對于反射儀,QUASAR-E100可提供更高精度的測量,且可提供極薄膜的測量

             

            ~多參數(shù)測量

            可測量材料厚度、折射率和消光系數(shù) 

             

            ~操作簡單且功能豐富

            用戶無需過多培訓即可輕松掌握測量流程及建立菜單,數(shù)據(jù)查看、統(tǒng)計和分析功能豐富

             

            橢偏儀 QUASAR-E100產(chǎn)品的參數(shù)

             

            產(chǎn)品型號

             Quasar E100A

             Quasar E100P

            厚度測量范圍

            0~5um

            0~5um

            光源

            鹵素燈(380-1000nm

            氙燈(193-1000nm

            (option:   193~1700nm)

            入射角

            65

            65

            數(shù)據(jù)采集時間

            0.6-2

            0.6-2

            光斑尺寸

            1mm~5mm

            25X60um(可做圓形光斑)

            自動運動平臺

            Option

            Option

            準確度

            <0.3%

            <0.3%

            精度★   (1σ)

            0.05nm

            0.01nm

             

            ★Si基底上對厚度小于30nm的SiO2薄膜樣品連續(xù)測量30次數(shù)據(jù)的標準偏差

             

            橢偏儀 QUASAR-E100定制功能

             

            可根據(jù)客戶需求配置不同的光源,以實現(xiàn)不同性能的測量

            可根據(jù)客戶需求搭配自動運動平臺

            可根據(jù)客戶需求配置小光斑


            橢偏儀 QUASAR-E100樣品實測數(shù)據(jù)

            準確性 /精度                                          

             

            Accuracy(A)

            ThicknessTarget

            Quasar E100

            18

            -0.16

            111

            -0.58

            271

            0.84

            623

            -0.28

            1152

            -1.54

            4506

            2.30

            10466

            -1.04


            Precision(A) 1σ

            ThicknessTarget

            Quasar E100

            18

            0.079

            111

            0.042

            271

            0.053

            623

            0.050

            1152

            0.040

            4506

            0.052

            10466

            0.0011%

             


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