化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設(shè)備>其它薄膜沉積設(shè)備>Sputter-2000W 生產(chǎn)型 TGV TSV TMV 高真空磁控濺射鍍膜機(jī)
Sputter-2000W 生產(chǎn)型 TGV TSV TMV 高真空磁控濺射鍍膜機(jī)
- 公司名稱 鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Sputter-2000W
- 產(chǎn)地 深圳
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/2/7 9:02:17
- 訪問次數(shù) 72
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鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司(簡稱：鵬城半導(dǎo)體），由哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳）與有多年實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的工程師團(tuán)隊(duì)共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術(shù)前沿與市場前沿的交叉點(diǎn)，尋求創(chuàng)新yin/ling與可持續(xù)發(fā)展，解決產(chǎn)業(yè)的痛點(diǎn)和國產(chǎn)化難題，爭取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。
公司核心業(yè)務(wù)是微納技術(shù)與gao duan精密制造，具體應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體工藝和半導(dǎo)體裝備的研發(fā)設(shè)計(jì)和生產(chǎn)制造。
公司人才團(tuán)隊(duì)知識結(jié)構(gòu)完整，有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團(tuán)隊(duì)；還有來自工業(yè)界的高級裝備設(shè)計(jì)師團(tuán)隊(duì)，他們具有20多年的半導(dǎo)體材料研究、外延技術(shù)研究和半導(dǎo)體薄膜制備成套裝備設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗(yàn)。
公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳），具備*的半導(dǎo)體研發(fā)設(shè)備平臺和檢測設(shè)備平臺，可以在高起點(diǎn)開展科研工作。公司總部位于深圳市，具備半導(dǎo)體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及半導(dǎo)體材料與器件的中試、生產(chǎn)、銷售的能力。
半導(dǎo)體材料,工藝和裝備的研發(fā)設(shè)計(jì),生產(chǎn)制造
生產(chǎn)型TGV/TSV/TMV高真空磁控濺射鍍膜機(jī)（Sputter-2000W系列）該設(shè)備用于玻璃基板和陶瓷基板的高密度通孔和盲孔的鍍膜，深徑比>10:1。例如：用于基板鍍膜工序Cu/Ti微結(jié)構(gòu)，Au/TiW傳輸導(dǎo)線雙體系膜層淀積能力，為微系統(tǒng)集成密度提升提供支撐。
本設(shè)備優(yōu)點(diǎn)：膜層均勻性及重復(fù)性高，膜層附著力強(qiáng)，設(shè)備依據(jù)工藝配方進(jìn)行可編程自動(dòng)化控制。
設(shè)備結(jié)構(gòu)及性能參數(shù)
-單鍍膜室、雙鍍膜室、多腔體鍍膜室
-臥式結(jié)構(gòu)、立式結(jié)構(gòu)
-線列式、團(tuán)簇式
-樣品傳遞：直線式、圓周式
-磁控濺射靶數(shù)量及類型：多支矩形磁控靶
-磁控濺射靶：直流、射頻、中頻、高能脈沖兼容
-基片可加熱、可升降、可加偏壓
-通入反應(yīng)氣體，可進(jìn)行反應(yīng)濺射鍍膜
-操作方式：手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)
-基片托架：根據(jù)基片尺寸配置
-基片幅面：2、4、6、8、10英寸及客戶zhi/ding尺寸
-進(jìn)/出樣室極限真空度：≤8X10-5Pa
-進(jìn)/出樣室工作背景真空度：≤2X10-3Pa
-鍍膜室的極限真空度：5X10-5Pa,
工作背景真空度：8X10-4Pa
-膜層均勻性：<5%（片內(nèi)），<5%（片間）
-設(shè)備總體漏放率：關(guān)機(jī)12小時(shí)真空度≤10Pa
工作條件
類型 | 參數(shù) | 備注 |
| 供電 | ～380V | 三相五線制 |
| 功率 | 根據(jù)設(shè)備規(guī)模配置 | |
| 冷卻水循環(huán) | 根據(jù)設(shè)備規(guī)模配置 | |
| 水壓 | 1.0～1.5×105Pa | |
| 制冷量 | 根據(jù)散熱量配置 | |
| 水溫 | 18～25℃ | |
| 氣動(dòng)部件供氣壓力 | 0.5MPa～0.7MPa | |
| 質(zhì)量流量控制器供氣壓力 | 0.05MPa～0.2MPa | |
| 工作環(huán)境溫度 | 10℃～40℃ | |
| 工作環(huán)境濕度 | ≤50% |
1-3-6-3-2-7-5-0-0-1-7
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