硅壓阻擴(kuò)散硅壓力傳感器采用半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成的惠斯通電橋作為力電轉(zhuǎn)換的測(cè)里電路，具有測(cè)精度高、功耗低、成本極低的特點(diǎn)。

      硅壓阻擴(kuò)散硅壓力傳感器的上下層均為玻璃體，中間層為硅片。硅片中部會(huì)做成如同茶杯一樣的結(jié)構(gòu)，一般業(yè)內(nèi)稱(chēng)之為硅杯，應(yīng)力硅膜上部是一個(gè)空腔，這里的壓力環(huán)境決定了壓力變送器所測(cè)里的壓力類(lèi)型是怎樣的。例如一般的表壓壓力變送器，在生產(chǎn)制作時(shí)會(huì)將這個(gè)空腔與壓力變送器外部環(huán)情連通，這時(shí)空腔的壓力其實(shí)就是外部真實(shí)環(huán)境的大氣壓。又例如壓力變送器，當(dāng)我們希望壓力值是以一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓力值為參考?jí)毫χ禃r(shí)，這個(gè)空腔就會(huì)被制作成密封腔，人為地灌注一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓值。

      在應(yīng)力硅膜與真空腔接的的一側(cè)通過(guò)光刻形成電阻應(yīng)變計(jì)橋電路。當(dāng)外界壓力通過(guò)壓力腔進(jìn)入傳感器的硅杯時(shí)，應(yīng)力硅膜在外力作用下會(huì)略微凸起，產(chǎn)生彈性變形。結(jié)果，四個(gè)電阻應(yīng)變計(jì)的電阻將發(fā)生變化，破壞惠斯通電橋原有電路的平衡，電橋?qū)⑤敵雠c壓力成比例的電壓信號(hào)。

      擴(kuò)散硅壓力傳感器的壓力直接作用在傳感器的膜片(不銹鋼或陶瓷》上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成此例的微位移，改變傳感器的電值。電子電路用于檢測(cè)壓力的變化，轉(zhuǎn)換輸出與壓力相對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。