操作模式：

設(shè)備采用操作人員取/送基片，自動(dòng)完成涂膠、自動(dòng)顯影、自動(dòng)烘烤處理的生產(chǎn)方式，操作人員通過觸摸屏進(jìn)行人機(jī)交互，完成生產(chǎn)配方和過程的控制；

涂膠單元：

轉(zhuǎn)速：5000 RPM（空載）

轉(zhuǎn)速控制精度：±1RPM

轉(zhuǎn)速調(diào)整量：1RPM。

加速度范圍：1000RPM/S 可設(shè)定。

電機(jī)功率：0.4KW、0.75KW、1.75KW等

涂膠方式：手動(dòng)\自動(dòng)滴膠可選

滴膠模式：手動(dòng)、針筒、壓力罐、膠泵等多種方式可選

廢液組成：光刻膠及其它液體

收集裝置：廢液收集后排放到設(shè)備內(nèi)部的廢液桶。

處理尺寸：≤8英寸，其它規(guī)格尺寸可選

顯影模塊：

顯影模塊包括顯影單元，化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，化學(xué)品排放系統(tǒng)，有機(jī)氣體排放系統(tǒng)。

吸盤系統(tǒng)：真空吸附

轉(zhuǎn)速：3000  轉(zhuǎn)/分鐘（負(fù)載）。

轉(zhuǎn)速控制精度： ± 1 轉(zhuǎn)/分鐘。

最小轉(zhuǎn)速調(diào)整量：1 轉(zhuǎn)/分鐘。

加速度范圍：5000RPM/S 可設(shè)定。

電機(jī)功率：0.4KW、0.75KW、1.75KW等

防護(hù)罩材料：不銹鋼；

噴嘴組件，顯影臂，驅(qū)動(dòng)電機(jī)。

顯影方式：可實(shí)現(xiàn)定點(diǎn)，掃描，puddle 顯影方式。

噴頭形式：扇形\柱形

顯影噴嘴高度控制：手動(dòng)調(diào)整。

噴嘴組件，清洗臂，驅(qū)動(dòng)電機(jī)

廢液收集后排放到設(shè)備內(nèi)部的廢液桶。

廢氣來源：顯影區(qū)域及防護(hù)罩內(nèi)的揮發(fā)氣體；

廢氣排放：單元內(nèi)部氣體收集后直排廠務(wù)系統(tǒng)。

管路：顯影液、水、氣、背洗等可選

處理尺寸：≤8英寸，其它規(guī)格尺寸可選

熱板：

溫度范圍： RT~200℃;

溫度均勻性：≤±1.5%%；

頂升功能：可選；

上位機(jī)軟件：可選；

處理尺寸：≤8英寸，其它規(guī)格尺寸可選

更多功能和處理尺寸需求可溝通詳細(xì)了解。