MSC-150T可編程旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)，采用分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計，7英寸觸摸屏，工業(yè)級直流電機(jī)及高級PLC控制，直觀清晰的程序界面與設(shè)計，美觀大方。適合涂膠處理? 10~150mm圓晶尺寸基片。該旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，可編程實(shí)現(xiàn)單步旋涂和多步編程旋涂。旋涂內(nèi)腔可直接取下來，方便清洗。

產(chǎn)品參數(shù)：

適用晶元尺寸范圍：?10~150mm；

旋涂速度：100~10000rpm；

轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm；

旋涂加速度：100-10000rpm/s；

最大旋涂時間：3000s；

旋涂時間精度：0.1s；

可存儲多種不同基片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝參數(shù)。每個涂敷工藝流程可以設(shè)置多步不同的旋轉(zhuǎn)速度

產(chǎn)品外型尺寸：300mm(W)x 380mm(D) x 260mm(H)

腔體尺寸：?220mm

重量：10KG

電壓：220V/50HZ

配置：標(biāo)配吸盤一組（10、25、50、100）mm、無油真空泵一臺

產(chǎn)品特點(diǎn)：

旋涂內(nèi)腔為耐酸堿材料PTFE，

采用分體式結(jié)構(gòu)，易清潔和移動；

7英寸彩色觸屏控制，易學(xué)易用；

精確設(shè)置實(shí)驗(yàn)參數(shù)，運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時顯示；

采用高級PLC程序控制，可編程，實(shí)現(xiàn)快速旋涂和多步編程旋涂；

具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能；管路易疏通設(shè)計；

更多需求可咨詢，提供分體式、嵌入式等定制