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這款半自動(dòng)真空探針臺(tái)SPS-2600-VAC和SPS-2800-VAC系列是MicroXact的真空探針系統(tǒng)，設(shè)計(jì)用于支持在真空或受控氣體環(huán)境中對(duì)多達(dá)100mm或200mm的晶片進(jìn)行電動(dòng)或半自動(dòng)探測(cè)。
該半自動(dòng)真空探針臺(tái)準(zhǔn)確，成本低，噪音低，使用方便。半自動(dòng)真空探針臺(tái)建立在一個(gè)振動(dòng)補(bǔ)償?shù)亩喙δ芷脚_(tái)上，能夠配置處理廣泛的探測(cè)應(yīng)用。半自動(dòng)真空探針臺(tái)提供可控環(huán)境晶圓級(jí)探測(cè)，非常適合于77K以下的無(wú)冰測(cè)試或易氧化設(shè)備和組件的高溫測(cè)試。
半自動(dòng)真空探針臺(tái)特點(diǎn)

標(biāo)準(zhǔn)重復(fù)精度+/-7mm

標(biāo)準(zhǔn)分辨率1.5mm

XY軸可選更高重復(fù)精度/分辨率（2mm/100nm)

可選擇手動(dòng)或電控theta臺(tái)

探針臂可選擇帶有額外的微操作器

可選擇液氮制冷樣品夾盤用于液氮溫度下測(cè)試

標(biāo)配鏡頭放大筒比例7:1倍，分辨率可達(dá)4um

有效的振動(dòng)隔離臺(tái)