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這款真空變溫探針臺是專業(yè)變溫真空晶圓流測試設(shè)計的專業(yè)變溫真空探針臺,滿足晶圓變溫光電測試需要,測試溫度范圍達到液氮溫度 -180℃~600℃,特別適合高溫和極低溫環(huán)境下晶圓真空變溫測試和射頻測試。
真空變溫探針臺特點
測試溫度：-180℃~600℃
適合高功率器件測試20kV DC/200A
即使在真空狀態(tài)下，也可以使用外部操作型定位器（探頭）移動致動器
良好的光和電屏蔽效果
MJ-8型探針臺可用于霍爾效應(yīng)測量
真空變溫探針臺應(yīng)用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探針測試：20KV DC/200A
RF射頻測試
高功率器件測試20kV DC/200A
高溫和極低溫晶圓溫度特性測試
氣體環(huán)境測試
真空變溫探針臺可選配件
冷熱臺 -180℃~+600°C
各種光源
三目顯微鏡（標配體視顯微鏡）
CCD相機
Probe card (4.5 inch square PCB)
真空變溫探針臺可連接配合的測試儀器
設(shè)備分析儀/參數(shù)分析儀
功率器件分析儀
源度量單位
曲線跟蹤器
精密LCR儀表
數(shù)字萬用表
阻抗分析儀
網(wǎng)絡(luò)分析器
真空變溫探針臺規(guī)格參數(shù)
| 型號 | MJ-8 | MJ-10 |
| 晶圓卡片尺寸 | 20x20mm | φ60㎜ |
| 真空度（使用渦輪泵） | 10?3 Pa | 10?3 Pa |
| 腔室尺寸 | φ116×30㎜（H） | φ216×138㎜（H） |
| 探針移動距離 | X：5㎜ Y：5㎜ Z：3㎜ | X：8㎜ Y：5㎜ Z：8㎜ |
| 探針工作范圍 | X:~18㎜ Y:~15㎜ | X:~40㎜ Y:~20㎜ |
| θ分辨率 | 0.001度 | 0.000022294deg |
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