目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學(xué)測量系列>>探針臺>> FPMIC-MPS-350磁探針臺
這款磁探針臺可提供三維磁場控制,滿足磁性控制RF探針測試應(yīng)用.作為磁場探針臺實(shí)現(xiàn)了平面磁場的任意操控,方便自旋電子器件探針測試.
磁探針臺特點(diǎn)
提供使用磁場的任意三維方向的探針臺，適合用于自旋電子學(xué)研究應(yīng)用
提供在除了垂直磁場方向上的晶圓探測，適合在生產(chǎn)中的自旋電子學(xué)設(shè)備測試。
*可定制的基于LABView的控制軟件可易與普遍的測試和測量設(shè)備結(jié)合使用
用于微米水平探針定位的有效的具有80TPI螺桿的高分辨率微位置
具有大范圍的輸出格式和可用設(shè)置的數(shù)據(jù)收集和/或分析
系統(tǒng)配有3個霍爾探頭和資料解析以提高磁場穩(wěn)定性和精度
磁探針臺規(guī)格參數(shù)
適合晶圓尺寸：100mm, 150mm, 200mm
磁場方向：任意3D
最大磁場：0.6T
磁場方向精度：+/-0.1度
磁場不均勻性：+/-2% @10mm直徑區(qū)域
磁場穩(wěn)定性：0.1%
晶圓XY定位分辨率：3um
Z軸行程： 12.5mm
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
9
化工儀器網(wǎng)