目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學測量系列>>探針臺>> FPMIC-SPS-2800進口半自動探針臺
這款半自動探針臺廣泛用作電動分析探針臺和半自動晶圓探針臺,可測試200mm晶圓,采用重型多功能探針臺平臺制造,配置靈活多樣,具有加熱制冷晶圓夾盤chuck,體式顯微鏡,RF屏蔽箱等諸多配件可選擇,適合半導體器件探針臺測試和晶圓探針臺測試等多種應用。
半自動探針臺特色
電動XY樣品夾盤,步進電機高精度控制,電控Z軸運動，可選配Theta角控制選項
適合低于0℃的測試應用或者屏蔽RF的應用
電動樣品臺，行程范圍200mm x 200mm
加載或卸載晶圓非常方便
精密電控XYZ樣品位移臺和電控臺板
可升級到半自動探針控制功能（選配）
光滑的磁鐵臺板可支撐高達10個磁性或真空定位器
高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達200mm, LED照明,放大倍數(shù)3.5X~180X
適合連接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF鏈接接頭
標準的XYZ三維位移臺顯微鏡
可提供RF探針,RF卡盤,RF隔離箱等附件
半自動探針臺規(guī)格參數(shù)
適合晶圓大?。?00mm
電動XY位移臺： 行程范圍200mm x 200mm， 分辨率1.5um
電動Z軸臺： 行程12.5mm 或25mm可選， 分辨率高達400nm
Theta臺： 電控或手動控制可選， 分辨率可達0.01度
臺板：固定
臺板平面度：<+/-12.7um @150mm長度
臺板剛度：<50um @4.5kg
樣品夾盤規(guī)格
真空：多區(qū)真空
平面度：+/-13um
(可根據(jù)客戶應用要求，提供各種樣品夾盤）
顯微鏡：高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達200mm, 放大倍數(shù)范圍3.5X~180X
電學接頭：BNC, Triax, RF, Banana插頭
安裝要求：真空度<600Torr, CDA:60psi(僅適用于啟動XY升級位移臺）
整體尺寸: W78cm xD80cm x H58cm
凈重：85kg ~95kg (根據(jù)所選不同配件）
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