目錄:孚光精儀（中國(guó)）有限公司>>材料加工處理>>實(shí)驗(yàn)室熔爐>> FPSEM-RTA100晶圓熱退火爐
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更新時(shí)間：2024-12-16 11:06:20瀏覽次數(shù)：1423評(píng)價(jià)
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池 |
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這款晶圓熱退火爐是半導(dǎo)體晶片惰性氣氛快速熱退火系統(tǒng),適合晶圓的最大直徑為100mm,晶圓通過(guò)上部快速檢修門(mén)手動(dòng)裝入腔室，并放置在熱補(bǔ)償石墨臺(tái)上。加熱器系統(tǒng)基于線性鹵素?zé)簦挥跔t體下方。這種設(shè)計(jì)確保了均勻的晶圓加熱，沿晶圓表面具有紅外發(fā)射的非均勻吸收（例如，具有成形金屬拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的晶圓）。
晶圓熱退火爐允許執(zhí)行相對(duì)較短的工藝，溫度高達(dá)1000°С，最大加熱速率高達(dá)40°С/s。對(duì)于與接觸退火無(wú)關(guān)的應(yīng)用，系統(tǒng)可在無(wú)石墨工作臺(tái)的情況下運(yùn)行，石墨工作臺(tái)的加熱速率可提高至200°С/s。最高溫度下的退火時(shí)間可達(dá)10分鐘。該室由鋁制成，具有集成的水冷100mm石英窗口，用于在退火過(guò)程中監(jiān)測(cè)晶片，也可用于安裝可選的光學(xué)高溫計(jì)。
晶圓熱退火爐特點(diǎn)
•帶水冷的鋁制工藝室
•通過(guò)膜或渦旋（可選）泵對(duì)工藝室進(jìn)行初步泵送
•晶閘管控制器的加熱功率操作
•自動(dòng)泵送和氣體凈化室，允許“一鍵式"工藝操作
•內(nèi)置PID控制器的多級(jí)退火過(guò)程
•通過(guò)兩個(gè)控制熱電偶監(jiān)測(cè)加熱臺(tái)溫度
•光學(xué)高溫計(jì)，用于額外控制晶圓表面溫度（可選），可通過(guò)石英窗口沿晶圓表面進(jìn)行X-Y溫度掃描
•高運(yùn)行間再現(xiàn)性
•易于操作和維護(hù)
晶圓熱退火爐規(guī)格參數(shù)
工藝過(guò)程反應(yīng)器中的極限壓力:<10Torr (可選<5×10
-3）
泵浦速率： 5 m^3/h
反應(yīng)器壁水冷： 是的
最大晶圓直徑：100mm
最大加熱速率：200℃/s (不帶電極夾具）
最大加熱速率：40℃/s (帶電極夾具）
最大加熱溫度：1000℃
熱均勻性@100mm直徑： +/-2(<1300℃）
真空退火：無(wú)
氧氣退火：無(wú)
自動(dòng)化退火：標(biāo)配
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
會(huì)員.png)
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