目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>半導體微電子設(shè)備>>勻膠儀>> FPSPS-spin4000a全自動勻膠機,旋涂機,勻膠儀
這款全自動勻膠機是進口自動勻膠儀器,采用功能強大的旋涂機系統(tǒng)專為所有應(yīng)用的研究和可變工藝而設(shè)計。其特點是能夠全自動旋涂操作。
全自動勻膠機POLOS SPIN4000A是一款獨立的全自動旋涂機系統(tǒng)。鋼制外殼保證了無污染的工作區(qū)，其組件確保了300x300mm基板的可重復(fù)、可編程旋轉(zhuǎn)過程。
全自動勻膠機特征
自動光刻膠分配，最多3個噴嘴（可選）
8.5英寸觸摸屏
真空泵
上蓋（可選）
全自動勻膠機規(guī)格參數(shù)
旋涂轉(zhuǎn)速：6000rpm
轉(zhuǎn)速精度：0.1%
旋涂旋轉(zhuǎn)方向：順時針，逆時針
最大加速度：<=3000rpm/s
最大襯底直徑：300mm(圓形）或8'' x 8''(方形）
尺寸：650 (w) x 1200 (h) x 945 (d) mm
重量:350kg
功耗：1KW
真空：-600 mm Hg
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