MKS1179A/1479A 質(zhì)量流量計(jì)適用于各個(gè)行業(yè)工藝的質(zhì)量流量控制器，量程控制范圍從10Sccm到20Slm。

MKS質(zhì)量流量計(jì)是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。

特點(diǎn)：

（1）MKS質(zhì)量流量計(jì)用于大流量應(yīng)用的從20SLM到200SLM的全量程

（2）平衡力閥門設(shè)計(jì)將由于管路壓力的波動(dòng)所導(dǎo)致的振動(dòng)降到zui小

（3）小于30分鐘的快速啟動(dòng)時(shí)間將寶貴的生產(chǎn)停頓時(shí)間降到zui小

（4）小于2秒的響應(yīng)時(shí)間可以快速達(dá)到所需要的設(shè)定值

（5）可接受外部壓力信號(hào)的輸入（0-10VDC）來進(jìn)行壓力控制

（6）可提供用于大流量監(jiān)控的流量計(jì)

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MKS質(zhì)量流量計(jì)