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            邁可諾技術(shù)有限公司

            主營(yíng)產(chǎn)品: 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī)

            12

            聯(lián)系電話

            13681069478

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            公司信息

            聯(lián)人:
            鄧經(jīng)理
            話:
            4008800298
            機(jī):
            13681069478
            真:
            址:
            洪山區(qū)珞獅南路147號(hào)未來城A棟
            編:
            個(gè)化:
            www.mycro.net.cn
            網(wǎng)址:
            www.mycro.cn
            鋪:
            http://apwanrong.com/st119375/
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            PL400紫外納米壓印機(jī)
            紫外納米壓印機(jī)
            參考價(jià) 面議
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 型號(hào) PL400
            • 品牌 其他品牌
            • 廠商性質(zhì) 代理商
            • 所在地 北京市

            更新時(shí)間:2025-03-12 10:56:49瀏覽次數(shù):3045

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            【簡(jiǎn)單介紹】
            EZ Imprinting推出了一款臺(tái)式獨(dú)立NIL納米壓印PL系列系統(tǒng):PL系列400/600.
            EZImprinting是一種超高產(chǎn)率(> 99%)納米壓印光刻系統(tǒng),帶有低于10納米的分辨率和一步自動(dòng)釋放功能。
            該平臺(tái)提供具有微定位夾具的機(jī)械平臺(tái),用于安裝納米壓印室,UV固化源和對(duì)準(zhǔn)顯微鏡。
            它即可以作為納米壓印系統(tǒng),也可以作為傳統(tǒng)的掩模對(duì)準(zhǔn)器,同時(shí)提供可編程的自動(dòng)控制功能。
            【詳細(xì)說明】

            一、PL400/PL600納米壓印機(jī)技術(shù)特點(diǎn):

            ? 全晶圓壓印 - PL600適用于6英寸晶圓處理, PL400適用于4英寸晶圓處理

            ? 低于10納米分辨率,產(chǎn)率高達(dá)99%

            ? 一步自動(dòng)釋放功能,可防止分離過程中模具/基材損壞,使壓印產(chǎn)量增大

            ? 支持各種類型的硬模和軟模

            ? 可變模具和基材尺寸,靈活方便

            ? 可編程PLC,通過自定義參數(shù)進(jìn)行過程控制,帶觸摸屏用戶界面

            ? 對(duì)準(zhǔn)功能選項(xiàng)

            ? 多種工藝,適用于各種應(yīng)用光學(xué)器件,顯示器,數(shù)據(jù)存儲(chǔ),生物醫(yī)學(xué)器件,半導(dǎo)體IC,化學(xué)合成和*材料等

            ? 專有的紫外線固化納米壓印抗蝕劑對(duì)硬度或厚度沒有限制,并且與傳統(tǒng)的光刻工藝兼容

            本納米壓印是一個(gè)獨(dú)立的納米壓印機(jī)包括自動(dòng)釋放™功能的納米壓印模塊和自動(dòng)壓印控制器。程序控制,用戶可自由設(shè)置工藝參數(shù),晶圓與模板由真空卡盤固定,兼容傳統(tǒng)的UV固化壓印膠工藝,可以快速的實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境下的壓印。可以處理各種不同形狀、滿足直徑100mm的模版和基片處理。只需要手動(dòng)裝入和取出模板和基片,其余的操作都是自動(dòng)化進(jìn)行,同時(shí)附帶軟件還提供了詳細(xì)的參數(shù)設(shè)置。

             

            二、PL400/PL600納米壓印機(jī)技術(shù)參數(shù)

            1.1模版尺寸:4/6英寸,兼容1~4/6英寸圓片和不規(guī)則的材料;

            *1.2基底尺寸:4/6英寸,兼容1~4/6英寸圓片和不規(guī)則的材料;

            1.3壓印模式:硬壓印和軟壓??;

            *1.4壓印分辨率:小于10nm;

            1.5壓印壓力:14 psi -17psi,可編程;

            1.6壓印區(qū)域:最大4英寸的基底材料;

            1.7模版:內(nèi)置自動(dòng)分離模版功能;

            1.8對(duì)準(zhǔn)精度:1μm,取決于工藝;

            1.9程序控制:PLC程序控制,壓印時(shí)間和壓力可編程;

            1.10對(duì)準(zhǔn)和移動(dòng)范圍:X,Y和Z+/- 5mm,?:+/- 5°;

            *1.11曝光系統(tǒng):LED紫外線曝光,波長(zhǎng)395nm,覆蓋9“x 9"區(qū)域,強(qiáng)度可編程,最大≥50mW/cm2,曝光時(shí)間也可編程;

             

            三、納米壓印機(jī)的應(yīng)用

            納米壓印技術(shù)憑借其高分辨率和低成本特性,廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:

             

            1.半導(dǎo)體與集成電路

            制造高密度存儲(chǔ)芯片(如NAND閃存、MRAM)。

            光子集成電路(如硅光器件、光柵耦合器)。

            優(yōu)勢(shì):替代傳統(tǒng)EUV光刻,降低優(yōu)良制程成本。

             

            2.光學(xué)器件與顯示技術(shù)

            增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)(AR)衍射光波導(dǎo)。

            液晶顯示(LCD)導(dǎo)光板微結(jié)構(gòu)。

            超表面透鏡(Metalens)的納米天線陣列。

            優(yōu)勢(shì):實(shí)現(xiàn)復(fù)雜光學(xué)結(jié)構(gòu)的低成本批量生產(chǎn)。

             

            3.生物醫(yī)學(xué)與傳感器

            微流控芯片(Lab-on-a-Chip)的納米通道。

            表面增強(qiáng)拉曼散射(SERS)基底。

            生物分子檢測(cè)的納米孔陣列。

            優(yōu)勢(shì):高精度結(jié)構(gòu)提升檢測(cè)靈敏度與特異性。

             

            4.新能源與柔性電子

            鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的納米陷光結(jié)構(gòu)。

            柔性電子(如可穿戴傳感器)的導(dǎo)電圖案。

            透明導(dǎo)電膜(如銀納米線網(wǎng)格)。

            優(yōu)勢(shì):兼容柔性基材(PET、PI),支持卷對(duì)卷(R2R)工藝。

             

            5.防偽與裝飾

            包裝的全息防偽標(biāo)簽。

            奢侈品表面的納米紋理裝飾(如抗指紋、啞光效果)。

            優(yōu)勢(shì):微結(jié)構(gòu)可定制化,難以復(fù)制。




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