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            邁可諾技術(shù)有限公司

            主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機

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            聯(lián)系電話

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            公司信息

            聯(lián)人:
            鄧經(jīng)理
            話:
            4008800298
            機:
            13681069478
            真:
            址:
            洪山區(qū)珞獅南路147號未來城A棟
            編:
            化:
            www.mycro.net.cn
            網(wǎng)址:
            www.mycro.cn
            鋪:
            http://apwanrong.com/st119375/
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            AS-OneAS真空快速退火爐
            AS真空快速退火爐
            參考價 面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 型號 AS-One
            • 品牌 其他品牌
            • 廠商性質(zhì) 代理商
            • 所在地 北京市

            更新時間:2024-05-17 09:01:42瀏覽次數(shù):2116

            聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!

            【簡單介紹】
            產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子
            AS真空快速退火爐,性能ZYUE,可搭配分子泵實現(xiàn)高真空下熱處理工藝。Z高溫度1500 ℃,Z快升溫速率200℃/Second。全程PC軟件控制升溫程序,保證溫度不過沖,控溫精度準(zhǔn)確。
            【詳細(xì)說明】

            AS-One真空快速退火爐,性能ZYUE,可搭配分子泵實現(xiàn)高真空下熱處理工藝。Z高溫度1500 ℃,Z快升溫速率200/Second。全程PC軟件控制升溫程序,保證溫度不過沖,控溫精度準(zhǔn)確。

             

            產(chǎn)品特點:

            1 紅外鹵素?zé)艄芗訜?,冷卻采用風(fēng)冷(低噪音水平,無需壓縮空氣);

            2、加熱由功率控制而非電壓控制,避免了由于燈絲老化電阻改變導(dǎo)致的后續(xù)使用中加熱不均的問題,保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性,即使在后續(xù)使用過程中更換了部分新的燈管也可以達(dá)到初的熱處理效果;

            3、石英腔體,腔體冷卻采用水冷,冷壁設(shè)計,雙層不銹鋼;

            冷壁水冷技術(shù)優(yōu)點在于:1、無記憶,2、工藝重復(fù)性高,3、冷卻速度快;

            4、反應(yīng)腔室的設(shè)計,氣體的進入口設(shè)計在wafer的表面,避免在退火過程中冷點的產(chǎn)生。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性;

            5、快速數(shù)字PID控溫;

            6、熱電偶配合高溫計控溫,測試樣品的溫度,控溫JIN準(zhǔn);

            7、大氣和真空工藝均適合,凈化氣體配針閥;

            8、多5路工藝氣體,配數(shù)字質(zhì)量流量控制器;

            9、電腦通過以太網(wǎng)連接更快的數(shù)據(jù)傳輸速度;

            10、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設(shè)計,用于小樣品測試;

            11、可選配分子泵,用于高真空測試;

             

            產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)配置及規(guī)格參數(shù):

            1、樣品Z大尺寸:AS-One1004-inch;AS-One150 6-inch;

            2、紅外鹵素?zé)簦?/span>AS-One100 12支; Z大功率:30KW;

                                      AS-One150 18支; Z大功率:34KW;

            3、紅外鹵素?zé)衾鋮s方式:風(fēng)冷;

            4、溫度范圍:AS-One100室溫~1250 ℃;(室溫~1500 ℃可選)

                                   AS-One150室溫~1200 ℃;(室溫~1300 ℃可選)

            5、升溫速率:AS-One100 0.1 ~250 /s ;

                                   AS-One150 0.1 ~200 /s

            6、溫度控制:快速數(shù)字PID控制;

            7、熱電偶:2K型熱電偶;(安裝中心和邊緣)

            8、進氣口:位于石英窗下;

            9、工藝氣體氣路配質(zhì)量流量計:壓力:2bars,多可配置5路; 

            10、配置真空泵及真空規(guī):真空度:10e-3 Torr;(分子泵選配10e-6 Torr

            11、尺寸:AS-One100510*800*1425mm (W*D*H)

                              AS-One150510*800*1425mm (W*D*H);

                   重量:AS-One100194Kg;

                             AS-One150:凈重240Kg

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