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            邁可諾技術(shù)有限公司

            主營(yíng)產(chǎn)品: 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī)

            12

            聯(lián)系電話

            13681069478

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            公司信息

            聯(lián)人:
            鄧經(jīng)理
            話:
            4008800298
            機(jī):
            13681069478
            真:
            址:
            洪山區(qū)珞獅南路147號(hào)未來(lái)城A棟
            編:
            個(gè)化:
            www.mycro.net.cn
            網(wǎng)址:
            www.mycro.cn
            鋪:
            http://apwanrong.com/st119375/
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            UV-KUB2UV-LED紫外掩膜曝光系統(tǒng)
            UV-LED紫外掩膜曝光系統(tǒng)
            參考價(jià) 面議
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 型號(hào) UV-KUB2
            • 品牌 其他品牌
            • 廠商性質(zhì) 代理商
            • 所在地 武漢市

            更新時(shí)間:2024-05-17 12:30:35瀏覽次數(shù):2526

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            【簡(jiǎn)單介紹】
            產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子
            我們?cè)贒ilase 直接激光寫(xiě)入光刻技術(shù)方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn),因此推出了用于固化紫外光感光材料的 UV-KUB 系統(tǒng)。 UV-KUB 2 是一種基于 UV LED 的曝光和掩膜系統(tǒng),具有 365nm 的可用光源。 這是一款緊湊型的桌面系統(tǒng),能夠曝光最大直徑為 4“ 或 6“ 的晶圓。
            【詳細(xì)說(shuō)明】

            用于軟光刻工藝,緊湊的桌面系統(tǒng)

            365nm +/- 5nm 處*單色曝光

            可處理4英寸或6英寸晶圓

            提供硬接觸和軟接觸模式 

            與所有光刻膠兼容

            分辨率:1µm

             

            我們?cè)?/span>Dilase 直接激光寫(xiě)入光刻技術(shù)方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn),因此推出了用于固化紫外光感光材料的 UV-KUB 系統(tǒng)。 UV-KUB 2 是一種基于 UV LED 的曝光和掩系統(tǒng),具有 365nm 的可用光源。 這是一緊湊的桌面系統(tǒng),能夠曝光最大直徑為 4" 6" 的晶圓。 UV-KUB 系統(tǒng)與硬(物理)接觸或軟(接近)接觸工藝兼容,并具有可變掩到基板距離控制的特點(diǎn)。由觸摸屏控制,UV-KUB 2通過(guò)*封閉的曝光保證安全。由于它的密封配置,該設(shè)備不需要安裝在潔凈室中。

             

            技術(shù)突破:

            1、高質(zhì)量準(zhǔn)直器

            · 發(fā)散角小于2°,保證了在厚層上實(shí)現(xiàn)分辨率低至 1µm和邊緣垂直度極 jia的圖案。

            · 這種高質(zhì)量的準(zhǔn)直允許在不需要真空接觸模式的情況下達(dá)到微米級(jí)的分辨率。

            2、LED技術(shù)

            ·完 mei的單色曝光光源

            ·冷紫外線源,防止不良熱效應(yīng)

            ·可以在連續(xù)或脈沖模式下運(yùn)行

            ·壽命長(zhǎng):uv-led光源不屬于消耗品

             

            特征

            整個(gè)工作表面上的完 mei單色曝光光源:更高的固化效率

            低溫紫外線照射條件和基板環(huán)境的實(shí)時(shí)原位溫度控制:在整個(gè)表面上提供均勻的照射,從而防止不良的熱效應(yīng)

            壽命長(zhǎng)(基于 LED 系統(tǒng)):> 10 000 小時(shí)有效使用

            用戶友好型觸摸屏界面,可設(shè)置曝光循環(huán)編程

            提供連續(xù)或循環(huán)曝光模式

            無(wú)需預(yù)熱時(shí)間

            紫外線源強(qiáng)度調(diào)節(jié)的計(jì)算機(jī)控制,很直觀

            紫外線照射室*密封:保證用戶安全

            自動(dòng)晶圓裝卸系統(tǒng)

            低消耗

             

            應(yīng)用范圍:

            UV-KUB 2 系統(tǒng)非常適合實(shí)驗(yàn)室和研發(fā)團(tuán)隊(duì)的廣泛應(yīng)用,涉及微流體、光學(xué)、生物技術(shù)、微技術(shù)、需要 1 個(gè)掩層的光刻工藝、晶圓鍵合、簡(jiǎn)單層或粘合劑固化、連接、組裝和生物 或細(xì)胞培養(yǎng)。

             

            技術(shù)參數(shù):

            分辨率

            1µm

            發(fā)散角

            2°

            可編程周期數(shù)

            10

            曝光周期(連續(xù)/不連續(xù))

            1 秒到 1 小時(shí)

            接觸模式

            硬(物理)接觸或軟(接近)接觸

             

            UV-LED光源:

            波長(zhǎng)

            365nm +/- 5nm

            均勻曝光

            +/- 5%

            LED的壽命

            >10000小時(shí)

             

            工作處理表面:

            處理表面

            4英寸或6英寸晶圓

            曝光期間的基板預(yù)熱

            1

            兼容光刻膠

            SU8、ShipleyAZ Resist、K-CL 抗蝕劑

             

            其他參數(shù):

            ·尺寸260(L)x 260(W)x 260(H)毫米

            ·重量8,2千克/18

            ·彩色觸摸屏:5,7英寸

            ·功率密度:35 mW/cm2+/-10%

            ·電源:100 v/240 V-50 Hz/60 Hz

            ·功率/消耗量180 W

            ·膜版與晶之間的距離控制:10 µm

            ·全版曝光:6mm

            ·基片厚度+層數(shù):最大2mm


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