TESCAN LYRA3 FIB-SEM雙束電鏡是一款集高分辨率 FE-SEM 鏡筒和多功能的高性能 Ga 離子源 FIB 于一體的雙束掃描電鏡，是切割橫斷面、定位制備高質(zhì)量TEM樣品以及高分辨三維樣品重構(gòu)的選擇。同時，大電子束流下的優(yōu)異分辨率有利于 EDX、WDX、EBSD 等分析應(yīng)用。LYRA3 滿足了當(dāng)今材料科學(xué)和工業(yè)的樣品表征及微觀分析需求。此外，LYRA3 非常適合電子束/離子束光刻、多層微電子器件的電路編輯。高通量、功能強大、易于使用的軟件使得用戶可以毫不費力地實現(xiàn)復(fù)雜的 FIB-SEM 應(yīng)用操作，如三維重構(gòu)、連續(xù)橫斷面切割、TEM樣品制備以及相關(guān)的顯微分析等。

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