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            目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>CVD、PECVD設(shè)備>> 1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-4-HVC

            1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-4-HVC
            • 1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-4-HVC
            參考價(jià) 面議
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            參考價(jià) 面議
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            • 品牌
            • 型號
            • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
            • 所在地 合肥市
            屬性

            >

            更新時(shí)間:2025-02-10 18:07:17瀏覽次數(shù):4177評價(jià)

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            GSL-1700X-4-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng),其爐管直徑為4英寸,它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,其Z高工作溫度可達(dá)1600℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

                 GSL-1700X-4-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng),其爐管直徑為4英寸,它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,其zui高工作溫度可達(dá)1600,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

            技術(shù)參數(shù)

            GSL-1700X 系列管式爐

            殼體

            • 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷,使得殼體表面的溫度 < 55°C.
            • 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命
            • 保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失
            • 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動(dòng)架上,方便移動(dòng).
            • 儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭,閥門,高真空機(jī)組

            爐管

            • 材質(zhì)高純氧化鋁陶瓷管
            • 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上
            • 4.1 "OD x 3.625 " ID x 40 " L  (99.8%)

            功率

             

            6KW

            工作電壓

             

            AC 208-240V單相, 50/60Hz

            加熱元件

             

            1800°C grade MoSi2 heating element

            工作溫度

            • zui高工作溫度.: 1650°C
            • 連續(xù)工作溫度.: 1600°C

            升溫速率

             

             <=5°C/min

            加熱區(qū)長度

            • 加熱區(qū)長度: 457 mm (18")
            • 恒溫區(qū)長度: 150 mm (6")(+/-1°C)

            溫控系統(tǒng)

            • 采用PID方式自動(dòng)控制,并可設(shè)置30段升降溫程序
            • 控溫精度: ±1°C                   
            • 控溫儀表操作視頻
            • 熱電偶: B 型,已經(jīng)安裝在爐內(nèi)

            真空法蘭

            • 一對不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝
            • 法蘭上帶有一機(jī)械壓力表
            • 兩個(gè)精密針閥
            • 一個(gè)KF-25連接器 KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口
            • 一個(gè)1/4"卡套接頭

            外形尺寸

             

            550 x 380 x 520mm

            高真空機(jī)組

            功率

             

            100~110W

            工作電壓

             

            AC 208-240V單相, 50/60Hz

            外形尺寸

             

            600(L) x 600(W) x 700(H), mm

            殼體

            • 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
            • zui大承載量:       600 Lbs on top
            • 分子泵控制面板:   LCD 數(shù)字顯示
            • 內(nèi)裝有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:    

            控制面板

            • 一鍵操作:按下"start" 鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)(隔膜泵先啟動(dòng)等真空度達(dá)到10-2mbar后,分子泵自動(dòng)啟動(dòng)) 
            • 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率:根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率

            抽氣速率

            • N2     33 L/s
            •  He     39 L/s   (2340L/minute)
            • H2   32 L/s

            工作范圍

             

            1000 mbar to <1E-7 mbar

            極限

             

            <1E-8 mbar (without any leaking )

            質(zhì)量流量控制器

            殼體

            • 采用 316不銹鋼制作
            • 混氣箱尺寸: Φ80X120mm  
            • 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
            • MFC控制面板 (Click to enlarge),可根據(jù)客戶要求定制

            功率

             

            18W

            工作電壓

             

            AC 208-240V, 單相, 50/60Hz

            質(zhì)保期

             

            一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

            質(zhì)量認(rèn)證

            CE Certificateed

              Operation Manual


             

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