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專用儀器儀表: 白度儀比色儀加熱板硬度計(jì) 比濁儀磁力儀功率計(jì) 分沙器涂膜機(jī) 放置器磁化率儀露點(diǎn)儀檢測儀粘度計(jì) 離心機(jī) 冰點(diǎn)儀校準(zhǔn)儀試驗(yàn)機(jī) 混勻器一體機(jī) 消解儀成型機(jī) 攪拌機(jī) 穩(wěn)定儀旋轉(zhuǎn)儀測定儀混調(diào)器糖化器萃取器均質(zhì)器采水器比色器勻膠機(jī) 潤麥器篩砂機(jī) 磁通計(jì)

光學(xué)儀器: 光度計(jì) 強(qiáng)度儀折射儀黑光燈光學(xué)計(jì) 影像儀透光率儀旋光儀測色儀干涉儀視野計(jì) 望遠(yuǎn)鏡輻照計(jì) 照度計(jì) 色差計(jì) 熔點(diǎn)儀密度計(jì) 提取儀

記錄儀

物位儀表: 變位計(jì) 料位控制器超聲波物位計(jì) 磁翻板液位計(jì) 液位儀表

量儀: 測厚儀測量尺磁導(dǎo)率儀

其它儀器儀表: 里氏硬度計(jì) 測報(bào)燈控制器計(jì)量器

量具

閥門: 閥門

計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具: 校準(zhǔn)器其他計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具熱學(xué)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具力學(xué)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具電磁學(xué)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具光學(xué)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具

實(shí)驗(yàn)儀器裝置: 振篩機(jī) 氮吹儀搖床清洗器裝置振蕩器鍍膜機(jī) 剩磁計(jì) 系統(tǒng)

機(jī)械量儀表: 其他機(jī)械量儀表伏安表速度測量儀表測力儀表轉(zhuǎn)速計(jì)

流量儀表: 明渠流量計(jì) 煤氣表流速儀

生物儀器: 其他生物儀器反應(yīng)器酶標(biāo)儀、洗板機(jī) 低溫冰箱冷凍干燥機(jī) 化學(xué)分析儀

壓力儀表: 壓力計(jì) 壓力控制器拉力計(jì) 微壓計(jì) 壓力檢驗(yàn)儀壓力表差壓表

溫度儀表: 溫濕度計(jì) 濕度儀溫度控制（調(diào)節(jié)）器非接觸式溫度計(jì) 熱電偶紅外測溫儀雙金屬溫度計(jì) 測溫儀

試驗(yàn)箱及氣候環(huán)境設(shè)備: 圖書文件消毒柜試驗(yàn)儀濕熱試驗(yàn)箱老化箱干燥箱高低溫箱恒溫試驗(yàn)箱腐蝕試驗(yàn)箱培養(yǎng)箱

橡塑專用儀器儀表: 制樣機(jī) 硫化儀

色譜儀: 薄層色譜掃描儀色譜柱液相色譜儀氣相色譜儀

氣體分析儀: 乙烯檢測儀二氧化碳檢測儀臭氧分析儀氯化氫檢測儀氫氣檢測儀過氧化氫檢測儀二氧化硫檢測儀一氧化氮檢測儀二氧化氮檢測儀硫化氫檢測儀一氧化碳檢測儀氦氣檢測儀氧氣檢測儀

氣象站: 雨量計(jì) 氣象站風(fēng)量計(jì) 風(fēng)速儀溫濕度計(jì)

室內(nèi)環(huán)保檢測儀器: 采樣器集沙儀分沙儀采集儀電泳儀劑量率儀活度計(jì)

試驗(yàn)機(jī): 流滴試驗(yàn)機(jī) 包裝件試驗(yàn)機(jī) 熔融指數(shù)儀材料試驗(yàn)機(jī) 非金屬材料試驗(yàn)機(jī) 萬能試驗(yàn)機(jī) 硬度計(jì) 強(qiáng)度試驗(yàn)機(jī) 耐磨試驗(yàn)機(jī) 沖擊試驗(yàn)機(jī) 扭轉(zhuǎn)試驗(yàn)機(jī) 彎曲試驗(yàn)機(jī) 振動(dòng)試驗(yàn)機(jī) 壓力試驗(yàn)機(jī) 拉力試驗(yàn)機(jī)

電子測量儀器: 容重器讀數(shù)儀 LCR測量儀示波器樣板尺全站儀場強(qiáng)儀發(fā)生器天平

無損檢測儀器: 粗糙度儀測厚儀涂層檢測儀超聲檢測儀其它無損檢測儀器檢漏儀

車用儀表: 其它車用儀表油壓表氣壓表汽車儀表測速儀轉(zhuǎn)速表

電工儀器儀表: 其它電工儀表電阻箱電橋鉗型表萬用表參數(shù)測試儀器頻率測量儀表電阻測量儀表功率測量儀表電流測量儀表電壓測量儀表電能儀表

分析儀器: 比濁儀酸度計(jì) 電極監(jiān)測儀聲級(jí)計(jì) 發(fā)生器定硫儀采樣器濁度儀煙度計(jì) 水分計(jì) 溶解氧儀勻膠機(jī) 校準(zhǔn)器極譜儀皮阻計(jì) 滴定儀電導(dǎo)率儀傳感器密度計(jì) 濃度計(jì) PH計(jì)

環(huán)境檢測儀器: 極譜儀輻射儀場強(qiáng)儀濃縮器采樣儀微壓計(jì)

儀器儀表: 粉碎磨粘度計(jì) 判斷儀真空計(jì) 露點(diǎn)儀安全玻璃透射比儀斑馬檢測儀頻率計(jì) 生物儀表溫度儀表試驗(yàn)箱及氣候環(huán)境設(shè)備塵埃粒子計(jì)數(shù)器沉浮密度比較儀

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產(chǎn)品簡介詳細(xì)介紹

射頻磁控濺射鍍膜裝置型號(hào)：DH-RM-1

主要用途：本設(shè)備主要用于大院校研究和開發(fā)納米單層膜；如各種硬質(zhì)膜、金屬膜；也可以是非金屬、化合物等薄膜材料。可以行直接濺射，亦可以實(shí)現(xiàn)反應(yīng)濺射。

主要點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡捷、操作簡便，真空度維護(hù)，安可靠。

鍍膜機(jī)應(yīng)安裝在干凈無塵埃、無腐蝕性氣體的室內(nèi)，并具備清潔水源、及220V的穩(wěn)定電壓等條件的地方。

1、地面的基本水平度要經(jīng)過調(diào)整，不得低不平；

2、環(huán)境溫度：10℃～30℃；

3、相對(duì)濕度：不大于75%；

4、耗水量（水溫度≤25℃，2.5Kg≥水壓≥1.5Kg）：約0.2T/h；

5、水質(zhì)要求：

矽酸硬度<6度，PH值：7－8，電導(dǎo)率：200us/cm,沉積率：<200mg/L。

6、電壓： 220V，50H_Z，

電壓波動(dòng)范圍： 198～231V；

頻率波動(dòng)范圍：49～51Hz;

7、水壓：0.3～1Kg/cm²或0.03～0.1MPa/cm²;

8、充入氣體純度99.9%或以上;

9、鍍膜用耗材純度99.9%或以上。

設(shè)備規(guī)格參數(shù)

1.1、濺射處理室：

1、鐘罩：內(nèi)徑225mm×度260mm；

2、試樣臺(tái)：直徑80mm（zui大）；

3、試樣旋轉(zhuǎn)：靜止；

4、擋板：手動(dòng)；

5、襯底加熱器：不銹鋼加熱器（DC24V）；

6、襯底溫度范圍：室溫～200℃；

7、襯底可調(diào)距離：20mm～60mm；

8、濺射室限真空：0.5Pa

1.2、真空系統(tǒng)：

1、抽氣系統(tǒng)：由機(jī)械泵組成的真空系統(tǒng)；抽氣速率：4升/S

2、真空檢測：電阻真空計(jì)、電阻規(guī)；

3、常用真空度：1～20Pa

4、操作：手動(dòng)

1.3、濺射電源：

1、射頻電源：頻率13.560MHZ,率：500W，用表示；

2、阻抗匹配器范圍：（2.7～45）Ω-j（0～70）Ω；

3、供電：AC 220V；

4、冷卻方式：風(fēng)冷；

1.4、磁控靶：

1、靶材直徑：Ф50mm、個(gè)磁靶；

2、靶材厚度：3～6mm；

1.5、氣系統(tǒng)：2路轉(zhuǎn)子量計(jì)氣，

1.6、電源要求：AC 220V 50Hz 10A

1.7、氣體要求：氬氣--純度99.9%（樣品有殊要求時(shí)使用純）

1.8、冷卻要求：靶體水冷，濺射電源風(fēng)冷

1.9、體積重量：體積：L550mm×W680mm×H1480mm；約120kg

北京恒奧德儀器儀表有限公司
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