XYθ（Theta）對(duì)位平臺(tái)直線(xiàn)電機(jī)多軸平臺(tái)基于與伺服控制技術(shù)相互兩全的高性能控制平臺(tái)。

可對(duì)應(yīng)定位精度、速度穩(wěn)定性、長(zhǎng)行程、客制品等各種要求。

也可構(gòu)建X、XY、Xθ（Theta）、XYθ（Theta）軸平臺(tái)。

行程100-21300mm.

XYθ（Theta）對(duì)位平臺(tái)直線(xiàn)電機(jī)多軸平臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊、低組裝，大中空孔，高動(dòng)態(tài)性和優(yōu)異的幾何性能。

平臺(tái)從需要高動(dòng)態(tài)性和微米級(jí)直線(xiàn)度的雙面晶圓加工，到由DX B、ARC無(wú)鐵芯電機(jī)驅(qū)動(dòng)的準(zhǔn)靜態(tài)光學(xué)量測(cè),需要高精度和精確的幾何性能。

應(yīng)用場(chǎng)景

對(duì)位平臺(tái)

XYθ對(duì)位平臺(tái)

UVW對(duì)位平臺(tái)

對(duì)位系統(tǒng)

網(wǎng)印視覺(jué)對(duì)位

COG視覺(jué)對(duì)位

切割對(duì)位系統(tǒng)

曝光對(duì)位系統(tǒng)

貼合機(jī)對(duì)位系統(tǒng)

裝配視覺(jué)對(duì)位

該平臺(tái)屬于LMH三軸平臺(tái)系列，具有高分辨率，高重復(fù)定位精度，廣泛應(yīng)用于光學(xué)測(cè)量?jī)x器，晶圓對(duì)準(zhǔn)，LCD面板檢測(cè)，半導(dǎo)體處理，激光切割和鉆孔，復(fù)合機(jī)等.