光刻膠按其形成的圖像分類(lèi)有正性、負(fù)性?xún)纱箢?lèi)。在光刻膠工藝過(guò)程中，涂層曝光、顯影后，曝光部分被溶解，未曝光部分留下來(lái)，該涂層材料為正性光刻膠。如果曝光部分被保留下來(lái)，而未曝光被溶解，該涂層材料為負(fù)性光刻膠。按曝光光源和輻射源的不同，又分為紫外光刻膠（包括紫外正、負(fù)性光刻膠）、深紫外光刻膠、X-射線膠、電子束膠、離子束膠等。

中文名稱(chēng)：2-異丙基-2-金剛烷醇丙烯酸酯

英文名稱(chēng)：2-Isopropyl-2-adamantyl acrylate

CAS號(hào)：251564-67-7

分子量：248.36100

密度：1.0±0.1 g/cm3

沸點(diǎn)：313.2±11.0 °C at 760 mmHg

分子式：C16H24O2

熔點(diǎn)：N/A

MSDS：N/A

閃點(diǎn)：128.5±16.7 °C

正膠S1800光刻膠

負(fù)膠NR光刻膠

紫外光刻膠薄膠 S1805G/S1818/S1813 半導(dǎo)體材料

光刻膠 SPR 955

聚酰亞胺光刻膠

AZ52ME反轉(zhuǎn)光刻膠

BP-212正性光刻膠

PAG改性SU8光刻膠

以上來(lái)自瑞禧生物WFF.2022.6