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擴散爐恒溫槽是上海百典專為太陽能、光伏行業(yè)，源瓶恒溫，半導(dǎo)體擴散爐配套而設(shè)計的配套型恒溫槽。

◆采用高精度動態(tài)恒溫控制技術(shù)和SMT裝配技術(shù)，*恒溫波動度達±0.05℃，專門為半導(dǎo)體擴散爐配套。

◆ 提供單個源瓶、兩個源瓶、和四個源瓶的結(jié)構(gòu)形式，適合不同的應(yīng)用需求。

◆ 將源瓶與水介質(zhì)*隔離的鐵氟龍隔離套，將任何泄漏事故引起的危險降低到zui低程度。

◆ 采用全封閉磁力泵循環(huán)攪拌，溫場均勻，*泄漏。通過將傳感器與循環(huán)泵液流的一體化設(shè)計，大大提高控溫精度和溫場均勻性。

◆ 液槽內(nèi)膽、瓶源隔離套、電熱器和蒸發(fā)器等可能與工作介質(zhì)接觸的部件采用不銹鋼材料，其中瓶源隔離套內(nèi)壁經(jīng)鐵氟龍?zhí)幚?，專門解決擴散爐應(yīng)用問題。

 

系列產(chǎn)品

Kszy-T12半導(dǎo)體擴散爐恒溫槽 

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