氣路系統(tǒng)參數(shù)

 質(zhì)量流量計參考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可選）

 準(zhǔn)確度：±1.5%

 線性：±0.5～1.5%

 重復(fù)精度：±0.2%

 響應(yīng)時間：≤10 sec

 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

 最大壓力：3MPa

 接口：Φ6,1/4''

 顯示：4位數(shù)字顯示

 工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體  

 內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6

 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止閥：Φ6

 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。

 可選配一路、兩路、三路、四路、五路等以上質(zhì)量流量計。

低真空系統(tǒng)參數(shù)

抽速:10m3/h

極限真空度：5*10^-1pa

電源：220V 50HZ

電機功率：0.4kw  

進(jìn)排氣連接口：KF25

用油量：1.1L

電機轉(zhuǎn)速：1440rpm

工作環(huán)境溫度：5-40℃

噪音：≤56db

電阻真空計參數(shù)：

1.配用規(guī)管：電阻規(guī)，

2.測量范圍： 10⁵～10^-1Pa，

3.測量路數(shù)： 1路

4.控制范圍： 5×10³～5×10^-1Pa，

5.控制方式：繼電器觸點輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載，

6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

7.功耗： 20W

高真空系統(tǒng)參數(shù)

空氣相對濕度：≤85%

工作電壓：AC220V±10%  50/60HZ

功率：1KW

系統(tǒng)整體極限真空度：10^-5Pa

實驗真空度：10^-3Pa

外形尺寸：850×600×650mm

機械泵:

抽氣速率：10m3/h

容油量：1.1L

電機功率：400W

極限壓強：6×10^-2Pa

分子泵:

抽氣速率：100L/S

極限壓強：6×10^-6Pa

啟動時間：＜2min

額定轉(zhuǎn)速：4300轉(zhuǎn)/分

冷卻方式：環(huán)境溫度5-32℃時，風(fēng)冷；5-40℃時，水冷。

分子泵控制器:

電壓：220V±22V

啟動電流：≤7A

輸入頻率：47HZ~63HZ

最大輸出功率：≤150W

最大加速電壓：≤40V

加速時間：≤3min

頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ

                        低速430HZ±5HZ

復(fù)合真空計:

測量路數(shù)：2路（電阻規(guī)、電離規(guī)各1路）

工作模式：手動/自動

電阻單元參數(shù)

規(guī)管型號：電阻規(guī)

測量范圍：1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa

有效范圍：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

控制范圍：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

電離單元參數(shù)

規(guī)管型號：電離規(guī)

可測范圍：5.0Pa~1.0×10^-5Pa

有效范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

控制范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

規(guī)管除氣方式：焦耳去氣

其他參數(shù)

控制路數(shù)：4路

控制方式：點動或區(qū)域控制/帶掉電記憶

控制精度：±1%

采樣時間：1s

電源：220V±10% 50HZ

功耗：50W

使用環(huán)境溫度：0℃~45℃

濕度：≤85%

連接管路:采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10^-9Pa.m³/s

備注：

根據(jù)工藝要求可選配低真空或高真空系統(tǒng)