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            安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司>>CVD系統(tǒng)>> BTF-1200C-SL-A等離子增加化學(xué)氣相沉積CVD系統(tǒng)

            等離子增加化學(xué)氣相沉積CVD系統(tǒng)

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            • 型號(hào) BTF-1200C-SL-A
            • 品牌 貝意克
            • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
            • 所在地 合肥市
            在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品

            更新時(shí)間:2024-08-15 11:39:01瀏覽次數(shù):349

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            產(chǎn)品簡介

            BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌等離子增加化學(xué)氣相沉積CVD系統(tǒng)。本設(shè)備集真空系統(tǒng)、供氣流量系統(tǒng)、自動(dòng)推進(jìn)、加熱于一體,并將所有控制集成于觸屏操控界面之中,使設(shè)備更加智能化,便于使用者操作。溫度范圍寬:100-1200度可調(diào),加熱區(qū)域長度:1650mm。適用范圍寬:金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復(fù)合薄膜,連續(xù)生長各種薄膜等。

            詳細(xì)介紹

            一、設(shè)備簡介

            BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌CVD系統(tǒng)。本設(shè)備集真空系統(tǒng)、供氣流量系統(tǒng)、自動(dòng)推進(jìn)、加熱于一體,并將所有控制集成于觸屏操控界面之中,使設(shè)備更加智能化,便于使用者操作。溫度范圍寬:100-1200度可調(diào),加熱區(qū)域長度:1650mm。適用范圍寬:金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復(fù)合薄膜,連續(xù)生長各種薄膜等。


            二、技術(shù)參數(shù)

            功率

            3KW

            額定電壓

            AC 220V  50/60HZ

            最高溫度

            1200℃

            工作溫度

            1100℃

            推薦升溫速率

            10℃/min

            空開大?。ㄗ詡洌?/span>

            2P 40A

            爐管尺寸

            高純石英管Φ100*1400mm


            等離子增加化學(xué)氣相沉積CVD系統(tǒng)

            最大滑動(dòng)距離

            880mm

            控溫方式

            模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制

            控溫精度

            ±1℃

            加熱元件

            電阻絲

            熱電偶

            K型

            質(zhì)量流量計(jì)

            兩路500sccm+5000sccm

            機(jī)械泵

            10m3/h

            設(shè)備凈重

            約230Kg




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