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            安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司>>CVD系統(tǒng)>> BTF-1200C-III-S-SL-3ZL小三溫區(qū)滑軌CVD

            小三溫區(qū)滑軌CVD

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            • 小三溫區(qū)滑軌CVD
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            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 型號 BTF-1200C-III-S-SL-3ZL
            • 品牌 其他品牌
            • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
            • 所在地 合肥市
            在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品

            更新時(shí)間:2021-09-27 23:25:42瀏覽次數(shù):1471

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            產(chǎn)品簡介

            產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,綜合
            小三溫區(qū)滑軌CVD控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能.

            詳細(xì)介紹

            小三溫區(qū)滑軌CVD技術(shù)參數(shù)

             小三溫區(qū)滑軌CVDBTF-1200C-III-S-SL-4ZL

            尺寸

            750×440×590mm ( 爐子)/2000×490×760mm ( 爐子+滑軌)

            爐管尺寸

            ?50/?60/?80/?100*1850mm(各管徑可選)

            加熱區(qū)長度

            200+200+200mm(600mm)

            恒溫區(qū)長度

            300mm

            工作溫度

            1100℃

            最高溫度

            1200攝氏度

            控溫方式

            模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

            控溫精度

            ±1℃

            推薦升溫速率

            10-20℃/min

            額定電壓

            AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

            額定功率

            6KW

             供氣系統(tǒng)

            外形尺寸

            600x600x650mm

            連接頭類型

            雙卡套不銹鋼接頭

            標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

            100、200、500sccm(可根據(jù)用戶要求定制)

            準(zhǔn)確度

            ±1.5%F.S.

            線性

            ±0.5~1.5%F.S

            重復(fù)精度

            ±0.2%F.S.

            響應(yīng)時(shí)間

            氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

            工作壓差范圍

            0.1~0.5 MPa

            最大壓力

            3MPa

            接口

            Φ6,1/4''

            顯示

            4位數(shù)字顯示

            工作環(huán)境溫度

            5~45高純氣體

            內(nèi)外雙拋不銹鋼管

            Φ6

            壓力真空表

            -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

            截止閥

            Φ6

             低真空機(jī)組

            工作環(huán)境

            5℃~40℃

            空氣相對濕度

            ≤85%

            工作電電壓

            220V±10% 50~60HZ

            功率

            1KW

            抽氣速率

            10m3/h

            極限真空

            5X10-1Pa

            工作壓力范圍

            1.01325X105~1.33X10-2Pa

            耐壓值

            0.03MPa

            容油量

            1.1L

            進(jìn)氣口口徑

            KF25

            排氣口口徑

            KF25


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